薄膜製造装置 KV-100
SPD方式小型低コスト成膜装置!最大基盤サイズは100mm x 100mm
SPD方式小型低コスト成膜装置です。 最大基盤サイズ: 100mm x 100mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 こちらのカタログは英語版となっております。
- 企業:株式会社SPD研究所
- 価格:応相談
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SPD方式小型低コスト成膜装置!最大基盤サイズは100mm x 100mm
SPD方式小型低コスト成膜装置です。 最大基盤サイズ: 100mm x 100mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 こちらのカタログは英語版となっております。
SPD方式小型低コスト成膜装置!最大基盤サイズは25mm x 25mm
SPD方式小型低コスト成膜装置です。 最大基盤サイズ: 25mm x 25mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 こちらのカタログは英語版となっております。
ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にします!
『ナノフィルムメーカー』は、水晶振動子(QCM)によるセンシング により、薄膜のナノオーダーでの膜厚制御が可能な薄膜製造装置です。 本装置により、アニオン性ポリーマーとカチオン性ポリマーの間に動く クローン力を利用して吸着させ、連続的に膜を積層することにより生成 される機能性薄膜「交互吸着膜」を開発できるようになります。 物質の組み合わせを検討することにより、タッチパネルに使用される 電導性膜の製造などにも役立ちます。 【特長】 ■ナノオーダーでの膜厚制御を実現 ■自由にヘテロ構造を設計可能 ■モノマ(Ru錯体など)の累積可能 ■様々な機能性薄膜が開発可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。