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薬液供給装置×株式会社テクノメイト - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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薬液供給装置(キャニスタユニット) P82

酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しN2による加圧圧送により原液を供給するための装置です。

CMP装置の原液供給に使用されます。 【特長】 ■PTFE製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • その他半導体製造装置

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薬液供給装置(連続式) P112

プロセス装置に連続で薬液を供給

本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である 【仕様】 ○外形寸法:W1720*D810*H2010 ○重量:約800kg 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である。最大、2種類2系統の薬液を供給することが出来ます。希釈濃度や供給量など動作に関する詳細はご希望内容に対応させていただきます。

  • その他理化学機器

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