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多点マッピング測定により膜厚分布を可視化
蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。 本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。 多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundamental Parameter)法を用いてAu膜厚を算出し、測定座標より膜厚分布の評価をすることが可能です。
波長分散型(WD)とエネルギー分散型(ED)両方のコアテクノロジを1台に搭載
複数のX線技術（WDX/EDX/XRD）を1台に統合。 Zetium は､軽元素を高感度に分析可能な波長分散と､高速分析･微小部分析に適したエネルギー分散の技術を1つのプラットフォームに搭載することを実現。 軽元素を得意とするWDXの光学系と、重元素を高分解能に検出するEDXの光学系との同時読み取りにより、 従来のWDXのみの装置では困難であった最適な測定条件を提供します。 ●最大５つの検出器で幅広い元素をカバー ・ガスフロー検出器（軽元素用） ・ハイパーシンチレーション検出器（重元素用） ・Xeシールド検出器（中間元素好感度測定用） ・ハイパーチャンネル固定検出器（特定元素専用） ・SDD検出器（EDX測定用） ●ラボでの研究・開発から工場での測定自動化へ 測定の自動化に対応しており、お客様の設備の状態に合わせて、装置のスペックや組み込み方法をご提案します。 高精度・高速・微小部分析とあらゆる分析ニーズに最適の光学系で柔軟に対応。更にオプションの選択によりフリーライムの定量も可能。
