基板表面マクロ検査装置『Stealth300Vシリーズ』
基板全面を高感度・高速検査。
『Stealth300Vシリーズ』は、LEDラインから照明された光に対する基板/膜表面からの反射/散乱光を超高感度カメラにより全面撮像し、その表面状態を解析する装置です。 従来の局所的（ミクロ）な検査では拾いきれなかった基板全体の傾向の高速検査が可能です。 OLEDや半導体での膜ムラ、露光ムラ、表面の傷検査において実績があります。 また、微細な表面異物検査光学系オプションを搭載すれば、PSL0.3um相当の異物検出も可能です。 【特長】 ■高速・全面測定 ■高感度撮像 ■メンテナンスが簡易 ■お客様の仕様に合わせて検査ソフトをカスタマイズ
- 企業：東朋テクノロジー株式会社
- 価格：応相談
