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今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！
『ARCscan TypeRE&ME兼用』は、ミクロ観察では困難な広い領域における パターン形状の均一性の解析・評価を可能とする装置です。 観察対象を最適化した光学条件を実現し、従来では困難であった高感度・高速・ 大面積の検査を可能としました。 パターンに最適な条件でマクロ観察が可能な『Type:RE』と、マクロ光学系でナ ノの評価が可能な『Type：ME』の兼用仕様。 【特長】 ■観察対象を最適化した光学条件を実現 ■困難だった高感度・高速・大面積の検査が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体ウェハー検査機器、検査用カメラを２台使用し、タクトタイムを1/2に削減。3Dバンプの検査も可能。
特許取得のOTF(On the Fly)技術をを使用し、検査用カメラを２台使用し、明暗視野を同時に撮像することにより、検査工程に価格時間を1/2に短縮。また、３Dの検査も可能し、WLSCPパッケージ等に使用されるバンプのコプラナリティの検査を可能にします。
基板全面を高感度・高速検査。
『Stealth300Vシリーズ』は、LEDラインから照明された光に対する基板/膜表面からの反射/散乱光を超高感度カメラにより全面撮像し、その表面状態を解析する装置です。 従来の局所的（ミクロ）な検査では拾いきれなかった基板全体の傾向の高速検査が可能です。 OLEDや半導体での膜ムラ、露光ムラ、表面の傷検査において実績があります。 また、微細な表面異物検査光学系オプションを搭載すれば、PSL0.3um相当の異物検出も可能です。 【特長】 ■高速・全面測定 ■高感度撮像 ■メンテナンスが簡易 ■お客様の仕様に合わせて検査ソフトをカスタマイズ
