今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！
『ARCscan TypeRE&ME兼用』は、ミクロ観察では困難な広い領域における パターン形状の均一性の解析・評価を可能とする装置です。 観察対象を最適化した光学条件を実現し、従来では困難であった高感度・高速・ 大面積の検査を可能としました。 パターンに最適な条件でマクロ観察が可能な『Type:RE』と、マクロ光学系でナ ノの評価が可能な『Type：ME』の兼用仕様。 【特長】 ■観察対象を最適化した光学条件を実現 ■困難だった高感度・高速・大面積の検査が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特性】 (Type:RE〕 ■大面積のパターンの均一性を高速にマクロ検査 →ナノインプリントモールド、導光板、拡散板、レンズアレイ ■エッジ反射マクロ光学技術でパターン形状と相関性の高いエッジ検出 〔Type:ME〕 ■マクロ光学系でナノの評価が可能 →シリコン・SiC・化合物ウェハのマクロ外観検査 ■オフアクシス光学系で10nm以下のパターン群の変化を検出 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
