基板全面を高感度・高速検査。
『Stealth300Vシリーズ』は、LEDラインから照明された光に対する基板/膜表面からの反射/散乱光を超高感度カメラにより全面撮像し、その表面状態を解析する装置です。 従来の局所的（ミクロ）な検査では拾いきれなかった基板全体の傾向の高速検査が可能です。 OLEDや半導体での膜ムラ、露光ムラ、表面の傷検査において実績があります。 また、微細な表面異物検査光学系オプションを搭載すれば、PSL0.3um相当の異物検出も可能です。 【特長】 ■高速・全面測定 ■高感度撮像 ■メンテナンスが簡易 ■お客様の仕様に合わせて検査ソフトをカスタマイズ
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基本情報
【仕様】 ■基板サイズ：8inch~12inch Wafer、角基板（小口径基板応相談） ■ロード方式：手動/自動 ■オプション：GEM/GEM300通信、KLARFファイル出力 表面異物検査光学系オプション 裏面キズ検査光学系オプション ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
■業界実績：OLED、マイクロLED、イメージセンサ用カラーフィルタ、マスクブランクス、 ■検査対象基板：シリコン、石英、ガラス、LT/L... ■検査対象：レジスト膜、カラーレジスト膜、PI膜等... ■検出欠陥：ムラ、異物、傷、残渣、デフォーカス、クラック等... ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
東朋テクノロジーは、半導体検査/製造装置・通信機器などの自社製品開発、産業機器や空調の販売・工事を中心に、創意躍動の社是でお客様に貢献します。