【進呈】多分野で活用可能な表面分析！TOF-SIMS分析事例集
無機物から有機物まで、高感度な表面分析ならお任せください！
TOF-SIMS分析では、試料の最表面を詳細に解析できるほか、 深さ方向の情報取得にも対応し、材料内部の成分分布の把握も可能です。 加えて、イメージングにより成分の空間分布を視覚化できます。 本資料では、様々な分野の製品を分析した事例を掲載しています。 お気軽にお問い合わせください！
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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表面分析(sims) - メーカー・企業と製品の一覧
表面分析の製品一覧
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【分析事例】ウォーターマーク原因調査
TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定
TOF-SIMSでは分子に由来する二次イオンを検出し、その分布を可視化します。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所（変色・付着）が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。
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【有機EL解析に最適】TOF-SIMS新分析サービス開始
有機成分を壊さず深さ方向分析が可能になりました！ 従来より空間分解能も向上し、狭い領域でも評価いたします。
有機ELディスプレイは近年、画質の高精細化のために配列が祖が微細化されていく傾向が見られています。 MSTでは、有機ELの開発において必須となる有機EL層の膜構造を精度よく評価可能な新サービスを開始しました。
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ご希望者全員プレゼント！表面分析の基礎と受託分析事例
〈XPS・TOF-SIMS〉 表面分析とは何か・表面分析の種類等、基礎的な解説を充実。また表面分析を用いた代表的な事例を掲載。
表面分析のご検討に役立つ基礎解説・分析事例をまとめてご紹介します。 お手元に置いて、分析サービスのご検討にぜひご活用ください。 ★ご希望の皆様全員に無料でプレゼント★ 【お問い合わせ】より、「カタログ送付希望」にチェックを入れてお申し込みください。 ※【PDFダウンロード】よりダイジェスト版をご覧頂けます。
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【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価
大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います
容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。 適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM、 SEM 表面分析：SIMS、XPS、AES、TOF‐SIMS その他構造評価等も可能です。 測定法：SEM・FIB・TEM・XPS・EDX 製品分野：二次電池 分析目的：化学結合状態評価・形状評価・組成評価・同定 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
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【分析事例】液晶パネルの異物・汚れ成分の同定・推定
ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます
液晶パネルの量産化において、欠陥（異物・汚れ)を除去することが求められています。そこで、原因となる異物・汚れが何に起因するか調査することは、歩留まり向上に有効です。 液晶パネルの異物・汚れを評価した事例を紹介します。TOF-SIMSではμm～cmオーダーの洗浄残渣をイメージとして捉えることが可能です。また、標準スペクトルとの比較により、成分の推定が可能です。
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