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TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定
TOF-SIMSでは分子に由来する二次イオンを検出し、その分布を可視化します。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所（変色・付着）が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。
有機膜の定性・各元素の結合状態の分離および定量化
多くの食品に用いられているPETボトルを例としたプラスチック容器では、軽量で割れないなどの特長を持つ一方で、缶やビンよりもガスバリア性が低い点が課題とされてきました。近年では酸素の侵入や炭酸の損失による品質の劣化を防ぐため、PETボトルにガスバリア膜をコーティングする技術が開発され、広く利用されています。本資料では、市販のPETボトルの測定から、ガスバリア膜の組成及び化学結合状態評価を行った事例を紹介します。
無機物から有機物まで、高感度な表面分析ならお任せください！
TOF-SIMS分析では、試料の最表面を詳細に解析できるほか、 深さ方向の情報取得にも対応し、材料内部の成分分布の把握も可能です。 加えて、イメージングにより成分の空間分布を視覚化できます。 本資料では、様々な分野の製品を分析した事例を掲載しています。 お気軽にお問い合わせください！
「試料埋め込み」や「研磨及びエッチィング処理」などの試験項目ごとに分析料金をご紹介！
株式会社ミツバ環境ソリューションは、環境測定、調査・解析、 ISOコンサルティングの専門企業です。 当資料では『表面分析』の料金について税抜き、税込みでご紹介。 試験法は「エネルギー分散XMA」や「EPMA」「オージェ電子分析（AES）」 などがございます。ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■金属組織形態観察など ■SEM ■破面解析（SEM観察の他別途請求） ■エネルギー分散XMA ■EPMA ■オージェ電子分析（AES） ■X線光電子分析（XPS） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます
液晶パネルの量産化において、欠陥（異物・汚れ)を除去することが求められています。そこで、原因となる異物・汚れが何に起因するか調査することは、歩留まり向上に有効です。 液晶パネルの異物・汚れを評価した事例を紹介します。TOF-SIMSではμm～cmオーダーの洗浄残渣をイメージとして捉えることが可能です。また、標準スペクトルとの比較により、成分の推定が可能です。
大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います
容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。 適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM、 SEM 表面分析：SIMS、XPS、AES、TOF‐SIMS その他構造評価等も可能です。 測定法：SEM・FIB・TEM・XPS・EDX 製品分野：二次電池 分析目的：化学結合状態評価・形状評価・組成評価・同定 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
有機成分を壊さず深さ方向分析が可能になりました！ 従来より空間分解能も向上し、狭い領域でも評価いたします。
有機ELディスプレイは近年、画質の高精細化のために配列が祖が微細化されていく傾向が見られています。 MSTでは、有機ELの開発において必須となる有機EL層の膜構造を精度よく評価可能な新サービスを開始しました。
〈XPS・TOF-SIMS〉 表面分析とは何か・表面分析の種類等、基礎的な解説を充実。また表面分析を用いた代表的な事例を掲載。
表面分析のご検討に役立つ基礎解説・分析事例をまとめてご紹介します。 お手元に置いて、分析サービスのご検討にぜひご活用ください。 ★ご希望の皆様全員に無料でプレゼント★ 【お問い合わせ】より、「カタログ送付希望」にチェックを入れてお申し込みください。 ※【PDFダウンロード】よりダイジェスト版をご覧頂けます。
![研究開発を加速する、[新]表面分析サービス開始！](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/480/2001535453/IPROS2944828896955495055.jpg?w=280&h=280)
最表面だけでなく、30nmの深部まで ～表面と材料内部の化学状態を同一箇所・非破壊で定量評価！～
XPS/HAXPESによる新サービスを6月より開始しました！ 複雑化する材料や微細構造試料に対し、表面から材料内部（～30nm）までの組成・化学結合状態を、同一箇所・非破壊で評価できます。 ・着目の元素や分析対象領域・深さに応じてX線源（Al Kα/Mg Kα/Ga Kα/Cr Kα）を使い分け、適切な測定条件での評価を実現 ・大気非暴露測定、 Arモノマー/GCIBスパッタエッチング、加熱前処理の併用が可能 ・UPS/LEIPSによる半導体試料の電子状態評価（イオン化ポテンシャル/電子親和力/バンドギャップ）が可能
光電子分光関連装置～超高真空技術を駆使した走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)など、卓越した製品群をご紹介！
光電子分光(PES)の黎明期からその重要性に着目し、世界のトップブランドとして、多くの関連装置を開発し、市場に導入してきました。 その他、超高真空技術を駆使した走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)など、卓越した製品群を通じて市場に提供し続けています。 【紹介製品※一部抜粋】 １) HAXPES Lab ラボ型硬X線光電子分光分析システム（放射光施設でのみ可能であった硬X線光電子分光がラボでも使用可能に！） ２) HiPP Lab 環境制御型X線光電子分光分析システム（大気圧レベルの圧力での測定を可能にしたXPS分析装置） ３) ARPES XPS観察・測定に使用される装置 ４) MBE Systems 真空蒸着装置 ５) STM/AFM 冷却加熱系を備えた走査トンネル顕微鏡 ※その他詳細はお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてください。
機能性材料やナノテク材料などの先端材料の課題解決をお手伝いします！
当社では、高性能の分析機器を用いた『表面分析サービス』を提供しております。 材料の表面や界面の情報を収集し、これらの知見を総合的に判断して 機能性材料やナノテク材料などの先端材料の抱える表面酸化、汚染、偏析 などの課題解決に貢献します。 【分析例】 ■ウエハ上の異物分析 ■半導体多層膜の膜構造の解明 ■傾斜切削による多層膜構造の解析 ■ウエハ表面の微量汚染物の分析 ■液晶多層膜の異常部の分析 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
