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表面化学分析 - メーカー・企業と製品の一覧

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技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。

【要旨】 シリカ表面にはシラノール基と呼ばれる水酸基が結合したケイ素(Si-OH)が存在しており、撥水、親水といった物理的特性の大きな一因を担っている。また、シランカップリング剤を結合させることで表面の化学的特性を改良し、樹脂充填材として汎用されている。したがって、このシリカ表面シラノール基は、シリカ単体の性質に留まらず、材料全体の性能を左右する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.原理 3.シリカ粒子の反応性シラノール基の定量 4.シリコンウエハの表面シラノール基の定量 5.シラノール基量の加熱による変化 6.まとめ

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