ナノ表面粗さ・形状計測器 ナノセブン
簡単操作、非接触、迅速、高分解能、低価格のナノ表面粗さ、段差形状測定装置。防振台不要でラインでの全数検査も可能。
光ヘテロダイン干渉計測を利用したコンパクトで、振動に強く、高さ分解能が０．１ナノと高精度な測定を提供する表面粗さ・形状測定システム。 計測時間も大幅に短縮でき、防振台不要でラインでの全数検査もできる。 広範囲の計測が可能で多点計測や大型試料にも適用可能。 ＜主な特長＞ １）低価格で計測時間の大幅短縮 ２）高分解能 高さ方向０．１ナノでAFMと互換性保持 ３）試料対象物への前処理や真空不要の簡単計測で防振台も不要 ４）広範囲計測可能 ５）光ヘテロダイン干渉計測で外部からの振動を相殺 等
- 企業：有限会社シスコム（SysCom）
- 価格：500万円 ~ 1000万円
