簡単操作、非接触、迅速、高分解能、低価格のナノ表面粗さ、段差形状測定装置。防振台不要でラインでの全数検査も可能。
光ヘテロダイン干渉計測を利用したコンパクトで、振動に強く、高さ分解能が０．１ナノと高精度な測定を提供する表面粗さ・形状測定システム。 計測時間も大幅に短縮でき、防振台不要でラインでの全数検査もできる。 広範囲の計測が可能で多点計測や大型試料にも適用可能。 ＜主な特長＞ １）低価格で計測時間の大幅短縮 ２）高分解能 高さ方向０．１ナノでAFMと互換性保持 ３）試料対象物への前処理や真空不要の簡単計測で防振台も不要 ４）広範囲計測可能 ５）光ヘテロダイン干渉計測で外部からの振動を相殺 等
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基本情報
計測方式：光ヘテロダイン干渉計測 高さ分解能：０．1ｎｍ 基準高さ計測範囲：０．５～３００ｎｍ 基準計測範囲：X軸４５ｍｍ Y軸４５ｍｍ 粗さ Ra：０．１～５０ｎｍ、段差１～１５０ｎｍ スクラッチ、形状等 本体寸法：W３１３ｘD６１４ｘH４２８ｍｍ、重量２７Ｋｇ
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
※2-3ケ月
用途／実績例
エレクトロニクス、半導体、自動車、マイクロテクノロジー、フィルム 精密工学、医療分野、データストレージ、セラミック・・・・
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企業情報
欧米の先端技術に基づく材料の分析評価機器やセンサーシステムを国内市場に紹介することで、様々な分野での研究開発に貢献致します。 また、お客様の幅広いニーズに対応すべく、柔軟かつ確実な技術サポートを提供してまいります。 些細なことでも、まずはお気軽にご相談下さい。