成膜装置 複合型PLD装置
民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応!半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクなどの薄膜製造工程に活用できます。
70台以上の販売実績を誇る多目的PLD装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。
- 企業:バキュームプロダクツ株式会社
- 価格:応相談
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民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応!半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクなどの薄膜製造工程に活用できます。
70台以上の販売実績を誇る多目的PLD装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。