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超純水加熱装置(純水) - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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超純水加熱装置『AQUARIUS CDIシリーズ』

豊富な納入実績を持つ超純水加熱装置の決定版。

『AQUARIUS CDIシリーズ』は、Teflon材またはPVDF材の インラインヒーターが内蔵された温水器です。 加熱前後での純度や比抵抗値は維持した温純水を供給します。 温純水の利用によりプロセス溶媒の消費量を低減し、洗浄品質向上に貢献。 酸・アルカリなどのケミカル溶媒加熱にも利用可能であり、 その信頼性、品質により業界全般で広く採用されています。 【特長】 ■連続大流量の高純度な温純水供給 ■溶解力の増強 ■乾燥時間の短縮 ■接液部はTeflonとPVDF仕様 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他ヒータ

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超純水加熱装置

加温する液体成分に影響を及ぼさない製品となっています。

本装置は、シリコンウェハー,液晶ガラス基板,ハードディスク基板、及び各種部品等の洗浄で使用される超純水をカーボンヒーターにより加温する装置です。 【特徴】 ○純水加熱容器は石英ガラスを使用 ○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用 ○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用 ○加熱効率が96%以上 ○PID制御による±1℃の安定した温度制御 ○起動から使用温度まで120秒以内の昇温 ○幅広い使用流量・温度に対応 ○流量変化に対応した温度調整が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 加熱装置

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