部品ダイヤモンドコーティング - メーカー・企業と製品の一覧

半導体装置部品へのダイヤモンドコーティング

耐プラズマ性ダイヤモンド

ダイヤモンド膜は、その硬度、化学的安定性、熱伝導率において極めて優れた特性を持ちます。そのため、プラズマ環境下でも非常に高い耐久性を示します。 プラズマエッチング装置や成膜装置の部品、特にプラズマに直接晒される部分にダイヤモンド膜をコーティングすることで、部品の寿命を大幅に延ばすことができます。特にフッ素系、塩素系、水素ガスに耐性を示します。

• 企業：DIAM株式会社
• 価格：応相談

• エッチング装置