耐プラズマ性ダイヤモンド
ダイヤモンド膜は、その硬度、化学的安定性、熱伝導率において極めて優れた特性を持ちます。そのため、プラズマ環境下でも非常に高い耐久性を示します。 プラズマエッチング装置や成膜装置の部品、特にプラズマに直接晒される部分にダイヤモンド膜をコーティングすることで、部品の寿命を大幅に延ばすことができます。特にフッ素系、塩素系、水素ガスに耐性を示します。
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企業情報
当社は、CVDによる導電性ダイヤモンドの合成・製造を行うメーカーです。 長年にわたる成膜条件を軸とした研究を行い、耐久性、高い導電性、 大面積での安定的な成膜ノウハウを確立しました。 高い硬度や屈折率、熱伝導性、化学的安定性など特異な性質を有する ダイヤモンドは、テクノロジーの進化や環境負荷低減へ対応できる素材として、 社会的ニーズが飛躍的にかつ急速に増大しています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。