配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター活用事例
配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。
半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み（周囲温度が低いときにガスが液化する現象）防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。
- 企業：株式会社スリーハイ
- 価格：応相談
配管加熱ヒータ - メーカー・企業と製品の一覧
配管加熱ヒータの製品一覧
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細配管加熱ヒーター
200℃以上の加熱が可能です
ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。 縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。
- 企業：ラックデザイン株式会社
- 価格：応相談
