陽極接合装置
各種センサー・マイクロマシンに！研究、開発に適したコンパクト＆エコノミータイプ
『陽極接合装置』は、加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を 印加して容易に接合できます。 研究、開発に適したコンパクト＆エコノミータイプで、アライメント部は 小型設計の卓上型。試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチ まで可能です。 各種センサー・マイクロマシン・生体材料・各種光学用途にお使いいただけます。 【特長】 ■加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合可能 ■研究、開発に適したコンパクト＆エコノミータイプ ■アライメント部は小型設計の卓上型 ■試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチまで可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アトーテック 株式会社
- 価格：応相談
