雰囲気焼成炉(ガス化) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

静電チャック（ESC）向け 雰囲気焼成炉

N₂＋H₂還元雰囲気と露点制御で、ESC焼成の再現性と条件出し効率を向上。

静電チャック（ESC）の焼成プロセスに特化したマルチ雰囲気対応の電気炉です。常用1600℃（Max 1650℃）の高温域に対応し、N₂およびN₂＋H₂の還元雰囲気で運転可能。さらにWetterによるInputガス加湿によりDry/Wet切替（オプション）を実現し、露点（pH₂O）制御で表面状態調整の再現性を高めます。 同一チャンバー内で雰囲気を切替できるため、工程分割に伴う待機・搬送・外気曝露を抑制し、パーティクルや水分等の再付着リスクを低減。ESC焼成の条件出し工数削減と品質安定化に貢献します。