非接触エンドエフェクター
ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド
「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの ローダ・アンローダに最適です。 このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。 また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。
- 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格：応相談
