ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド
「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの ローダ・アンローダに最適です。 このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。 また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。
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基本情報
「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの ローダ・アンローダに最適です。 このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。 また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。
価格情報
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納期
用途／実績例
ウエハローダ・アンローダ ウエハカセット移裁 ウエハ搬送
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。