膜厚計 顕微分光膜厚計 『OPTM series』
1ポイント1秒測定&測定エリア最小3μm!高性能で使いやすい顕微分光 膜厚計
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します!
- 企業:大塚電子株式会社
- 価格:応相談