高精度Zステージのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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高精度Zステージ - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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高精度Zステージ『L-310』

工業、研究分野の精密ポジショニングに!高デューティサイクルのZステージ

『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • エンコーダー

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【Zステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Zステージ

お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ。改造や特注にも対応致します。

半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からZステージを特集。 直立型Zステージや3タイプの水平面Zステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもZステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Zステージの実力値も公開中。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他半導体製造装置

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