13mmストロークのコンパクト高精度Zステージ
L-306は、小型設計ながら高精度な位置決めを実現するZステージです。ベルトギアを用いた折り返し駆動構造によりコンパクトサイズを実現（設置面積が63×63mm）。XYステージと組むことが容易です。 駆動方式には2相ステッピングモータまたはクローズドループDCモータを採用し、用途や制御システムに応じた構成が可能です。また、クロスローラーガイドを採用しており、高い剛性、低い予圧による摩擦の低減、滑らかな動作を実現。さらに、高い案内精度と耐荷重性能を備えています。 強制保持式ローリングエレメントケージによりケージクリープを防止します。
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基本情報
・移動方向：Z軸 ・トラベルレンジ：13mm ・外形寸法：63 × 63 × 80 mm ・駆動方式：ステッピングモーター / DCモーター ・ガイド機構：クロスローラーガイド ・最小ステップ：2.5µm（Typ.） ・繰り返し精度：±0.1〜0.5µm（モデルによる） ・オプション：リニアエンコーダ ・非接触リファレンスセンサー / リミットスイッチ ・最大速度：約5mm/s ※詳細仕様（負荷容量、トルク特性、コントローラ対応など）はお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
・研究開発 ・半導体技術 ・フォトニクス ・オートメーション
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
