高精度真空レギュレータ(制御) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

Equilibar　低流量向け高精度真空レギュレーター

入力条件が大きく変動する場合でも、非常に安定した入口圧力を制御するために特別に設計されています。

EVRは、供給真空度の変動や流量の変化に関わらず、厳密な制御を維持します。Equilibar精密真空レギュレータは、従来の真空制御弁とは異なる動作原理を採用しています。可動部品はフレキシブルダイヤフラムのみで、このダイヤフラムが内部バルブのオリフィスに直接シールすることで、従来の真空制御弁によく見られる、動的Oリングやワイパータイプのシールによる「スティクション」を排除しています。Equilibarの設計は摩擦がなく、非常に高い分解能で真空を制御できます。