【半導体向け】小型高精度面積式流量計 NFMシリーズ
盤への埋め込みに最適。薬液管理の流量を精密に測定。
半導体製造における薬液管理では、薬液の正確な流量制御が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。薬液の流量が不適切であると、ウェーハの洗浄不良やエッチングの不均一性など、様々な問題が発生し、最終製品の性能に悪影響を及ぼす可能性があります。小型高精度面積式流量計 NFMシリーズは、これらの課題に対し、精密な流量測定と盤への容易な組み込みで貢献します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・洗浄液供給ライン ・各種ガス供給ライン 【導入の効果】 ・薬液流量の精密なモニタリングによる品質向上 ・盤内スペースの有効活用 ・RoHS指令対応による環境負荷低減
- 企業：株式会社テクネ計測
- 価格：応相談
