盤への埋め込みに適した小型高精度流量計で、薬液管理をサポート。
半導体製造における薬液管理では、正確な流量測定が製品の品質と安全性を確保するために不可欠です。薬液の流量が不正確だと、ウェーハの洗浄やエッチング工程に悪影響を及ぼし、歩留まりの低下や製品の不良につながる可能性があります。小型高精度面積式流量計 NFMシリーズは、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・洗浄液の流量管理 ・エッチング液の流量制御 【導入の効果】 ・正確な流量測定による品質向上 ・リークの低減による安全性の向上 ・設置の容易さによる作業効率の改善
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基本情報
【特長】 ・低価格の小型高精度面積式流量計 ・リーク度も少なくppmレベルのガスにも対応可能 ・盤への埋め込みに適した突出の少ないパネル埋め込みタイプ ・立幅120mm程度の小型かつシンプルな構造で設置が容易 ・RoHS指令対応品 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培った技術を活かし、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。流量計だけでなく、水分管理に関する様々な計測器・装置を取り扱っており、複雑な問題にも対応可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
● パージエアー/窒素 ● 計測器への流量管理 他多岐にわたる
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企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。
