ソリッドSiC
肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応!CVD法で製作した高純度SiC
『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。 高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、 幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。 半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げる 材料として期待されています。 【特長】 ■高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れている ■幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮 ■パーティクル低減・ライフ向上に貢献 ■高い熱伝導率・熱衝撃耐性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:東海ファインカーボン株式会社
- 価格:応相談