バイスリープロジェクツの製品・サービス一覧

鏡面材料(半導体ウェハ、HDD用磁気ディスクなど)の表面形状を高速・高精度で3D可視化するフラットネス検査装置となります。 この装置は、鏡面材料にパターン照明を投影し、その反射光をカメラで撮影、画像処理によってパターンの変化量を演算することで、μm（マイクロメーター）オーダーの精度で歪みや反りなどの表面形状を三次元的に測定します。フィゾー干渉計による測定結果とも高い相関性を示しており、信頼性の高いデータ取得が可能です。さらに、ワンショット撮像により広範囲の表面形状を瞬時に検査できるため、インラインにも適した検査ソリューションとなります。

• その他検査機器・装置

弊社オリジナルの外観検査手法であるSlit Shift Min-Max法を搭載、明暗の分かれたスリットの光を一定周期でシフトさせることで、従来の手法では検出できなかった光沢面/鏡面体の製品表面上にできた微小な欠陥を検出します。 多関節ロボットが検査対象ワークを把持し、検査に最適なポジションに配置することで検査面毎に検査を行い、瞬時にOK/NGの判定を行います。多関節ロボットはワークの形状に合わせて把持方式を切り替えることもでき、ユーザー自身でワーク形状に合わせたティーチングおよび検査面毎の検出処理を設定することで多品種ワークへの対応が可能です。 左右に配置した大型液晶光源からスリットパターンを照射すること曲面形状をもった検査対象ワークの検査も可能です。

• 外観検査装置

実用新案も取得した独自の画像処理システムにより、従来の検査手法では困難であった光沢の強い鏡面反射する製品(塗装面・メッキ面等)の微小なキズ・凹凸・異物等の検査を実現した検査ユニットです。 スリットパターンを一定周期でシフトさせた際に生じる輝度変化が検査対象ワークに生じた欠陥の有無・形状によって異なることを利用して欠陥部を強調します。 対象ワークの表面状態や加工内容により発生する欠陥の種類は様々ですが、SSMM-1Rはスリットの方向・形状を任意に設定できることで目的とした欠陥に適した画像を撮像することが可能となります。

• 外観検査装置