産業用機械

株式会社ダステム

住所東京都大田区羽田２-２３-４
電話03-3742-7270
最終更新日：
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投込みパイプヒーター 投込みパイプヒーター
シリコンラバーヒーター シリコンラバーヒーター
プラグ付きカートリッジヒーター プラグ付きカートリッジヒーター
プラグヒーター プラグヒーター
遠赤外線ヒーター 遠赤外線ヒーター
ベルトヒーター ベルトヒーター
マイクロシースヒーター マイクロシースヒーター
AQヒーター AQヒーター
PRHヒーター PRHヒーター
アルミ箔粘着テープ付ヒーター アルミ箔粘着テープ付ヒーター
その他 その他
AQヒーター

AQヒーター

AQ Heater(All Quartz Heater)は半導体プロセスでの洗浄用・各種薬液の加熱を低温で加熱できるラインヒーターです。 接液部は高純度透明石英ガラスを使用。 当社独自の赤外線加熱により、不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑え、且つ安全にご使用頂けるラインヒーターです。

ＡＱヒーター

半導体洗浄装置の洗浄に最適！消費電力も少なく節電対策にもなります。

ＡＱヒーターは、半導体製造プロセスの洗浄用・各種薬液の加熱を 低温で加熱できるヒーターです。 接液部は全て高純度の透明石英ガラスで、又当社独自の赤外線加熱の為、 不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑え、且つ安全にご使用頂ける ヒーターです。 ・加熱方式が当社独自の赤外線加熱方式の為、流体のピーク　波長が近いので透過率を最小限に抑え、また昇温時間が極　めて早い。 ・流体のピーク波長に近い為、ヒーター表面温度を低くし、 　不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑えます。 ・コンパクト設計の為、小スペースで取り付けが出来ます。

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