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真空計
インフィコンの真空計は、コンパクトな設計ながらすぐれた精度と信頼性を実現しています。センサ部にセラミックを採用したユニークなキャパシタンスダイアフラムゲージ、1台のユニットに複数のセンサ技術を組み合わせたコンビネーションゲージなど、真空プロセスにおけるトータルな圧力測定とコントロールを提供します。