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製品の購入検討、お手持ちのディテクタの急な故障時といったスポット利用にせひご利用ください。
フリーズドライ(凍結乾燥)は、真空下で製品を低温で乾燥させる脱水技術です。乾燥対象に含まれる水などの溶媒を蒸発させることにより除去します。真空下で行うことで、液相を通過することなく、低い温度で溶媒を蒸発させることができます。 その1番のメリットは熱に弱い成分を保護し、対象の形状や大きさを保てることです。最終的な製品に溶媒が含まれない為、酸化や劣化、組成変化（遺伝的または酵素的）の影響を抑え、長期保存が可能になります。 以下のリンクでは、フリーズドライで真空が果たす役割と真空ポンプ選定時のポイントをご紹介します。
特定の製造工程であったり、焼却炉、発電所などのエネルギー生産過程において、温室効果ガスである二酸化炭素が大気中に放出されます。これを、捕捉・分離・回収・再利用することで、大気中の二酸化炭素の濃度を減少させ、排出量をゼロにする脱炭素化を目指した取り組みが世界規模で推進されています。 以下のリンクをクリックして、代表的な二酸化炭素・CO2回収の工法をご確認ください。
分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。 使用温度によって対応する各種のグリースがあり、いずれも科学的に安定しています。蒸気圧が非常に低く純度が高いので、分析中の試料を汚染する心配が少ない高性能なグリースです。
EXDMシステムはモジュールパッケージであり、プラスチック加工やリサイクル工程で威力を発揮します ・ドライクローポンプEDCは、ステンレス鋼のクローローターとコーティング加工されたステーターを備え、連続して行われる起動・停止に耐える耐久性を備えています ・お客様の仕様に合わせて、フィルタやバルブ、溶剤洗浄仕様、ガスパージ仕様などのアクセサリー選択が可能であり、パッケージ全体で円滑かつ効率的に稼働することにより、お客様の生産性を高めます ・制御方式は、簡単なマニュア式、自動制御のオプションがございます ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
真空ポンプ用コントローラ EJGOでは、ポンプの状態確認、ポンプの起動・停止・圧力設定値の調整、ポンプのアラートを監視致します。 Webブラウザを介し、同じネットワークに接続されているデバイス（ノートPC、スマートフォン、タブレット等）から、コントローラにアクセスすることが出来ます。 また、ポンプデータを収集することができ、そのデータを活用することにより、プロセスの改善やメンテナンスの事前計画にお役立ちいたします。 ＜真空ポンプ用コントローラ EJGO対応機種＞ ・EOS350～900i ※順次、対応機種を拡大予定
EDOシリーズは、スクロールタイプのドライポンプです。 真空室は、2つのスクロールで構成されており、1つが固定、もう1つが偏心状態で回転しながら、 対象ガスを閉じ込め、圧縮、排気を行い、到達圧力能力は150Paを有します。 全ての圧力帯で連続運転が可能であり、シンプル構造でお客様サイトでのメンテナンス対応も可能です。 ガスバラスト機能による高い水蒸気排気能力と、大気圧近くのモーターの負荷が高い気体をバイパスして排気させるブローオフバルブによる消費電力の低減を実現します。 モーターは空冷であり、周波数は50/60Hzに対応致します。
GENIUSは、真空ポンプの状態をリモートで見えるように支援するIOTツールです。 モバイル回線を備えたGENIUSボックスを介して、ポンプデータをクラウド上に転送し、 WebブラウザからGENIUSポータルサイトを通じて、リモートでの閲覧が可能となります。 稼働状況やエネルギー消費量、アラート情報を可視化し、定点観測することで、 ポンプの故障リスクを事前に察知し、計画的なメンテナンスに貢献いたします。 ＜GENIUSの特長＞ 〇対象ポンプ：インバーターが搭載されているポンプに限定されます（GXSシリーズ、EOSiシリーズ、今後順次拡大予定） 〇お手持ちの端末で閲覧可能：お使いのスマートフォン、タブレット、ＰＣから閲覧いただけます 〇多種多様なデータを記録可能：稼働状況や運転時間をはじめ、ポンプの温度、回転数、負荷状態などを記録、データのダウンロードが可能となります。
E2Sシリーズは、2段式のロータリベーンタイプの油回転ポンプ（オイルポンプ）です。 デザインを一新し、コストパフォーマンスに優れたポンプに仕上がっています。 ＜E2Sシリーズ特長＞ 〇高い排気能力：従来のE2Mと同じモーター定格でも、E2Sでは10％近くの排気性能を持っています 〇オイルボックス：押出成形加工の採用。気密性向上と放熱フィンの取り入れにより、冷却効果が向上 〇駆動音の低減：内部機構デザイン、採用部材の変更により、従来ポンプより静かな動作駆動を実現 E2Sシリーズ＜60dB、従来品E2Mシリーズ＜65dB 〇蒸気排気の耐性：蒸気耐性に優れた部材の採用とモード選択式により最大蒸気耐性20mbar(E2S45) どの真空圧力帯であっても、一定の給油圧をもって、ポンプ内部を潤滑し、安定に 〇オイルフィルター：オイルの寿命を延ばし、シール材をコンタミや汚れから保護します クリーンな使用環境下での交換目安は約12か月です
当カタログは、科学機器、研究開発用途から始まり、化学産業、一般産業、半導体やディスプレイに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 エドワーズでは、これまでの経験・実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスの豊富な知識により、ポンプ単体から、システムまで構築するパッケージ提案まで、様々なソリューションをご提供しております。 お客様のアプリケーションから、最適なポンプやシステムを探したい、とのご意見にお応えする、真空ソリューションの選定に役立つ一冊となっております。
Edwardsは、高エネルギー物理学の応用と様々な段階で真空が果たす 重要な役割を深く理解しています。 その経験と、クラス最高の製品と応用ノウハウを組み合わせることにより、 現代物理学の限界を押し広げる幅広いソリューションを提供。 当カタログではシンクロトロンや核融合、重力波等の解説と応用例のほか、 幅広い真空製品を掲載しております。ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容（一部）】 ■信頼されるパフォーマンス ■シンクロトロン ■核融合 ■重力波 ■粒子衝突型加速器 ■高出力レーザービーム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
EDSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度200m3/hr, 300m3/hr, 480m3/hrの3モデルから選択頂けます。 空冷式と水冷式、ケミカル式があり、過酷な使用条件下であっても、高い排気能力を備える高耐久性のスクリューが特徴です。 高速ポンプにより、粗引き速度が速いためポンプのダウンタイムが短く、作業の迅速化と長い稼働時間を実現できます。 防爆への対応については、欧州規格であるATEX指令を認証済みであり、別途、日本国内で認証の防爆モーターも組付けることも可能です。 ＜特長＞ ・ 頑丈な構造デザインと優れた排気能力：エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 ・ プラグアンドプレイシステム：電源直結によるシンプルな運転 ・ 到達圧力 <1～5 Pa ・ ランニングコストの低減、ブローオフバルブ機能によるモーターへの負荷軽減 ・ パージ機能により幅広い用途に適応 ・ 低電圧（200V 50Hz or 60Hz）、高電圧仕様（380V 60Hzのみ） ※［お問い合わせ］リンクから評価用デモ機の貸出依頼も受付中です。
日本政府は、2050年までに温室効果ガスの排出を全体としてゼロにする、カーボンニュートラルを目指すことを宣言しました。 カーボンニュートラルの達成のためには、再生可能エネルギーの普及、省エネ技術の導入推進、森林吸収減の活用などが上げられます。 工場をお持ちのお客様で、省エネへの次の一手をどうするのか、お困りではございませんでしょうか？ ・省エネに繋がるヒントを探している。。。 ・現状の設備の見える化をしたい。。。 ・社内で検討する為の具体的な数値と資料が欲しい。。。 「既設の真空ポンプの見える化を行い、省エネポンプに入れ替えた場合の効果を実データを持って検証する」、これがエドワーズからのご提案です。 既設ポンプに計測器を取り付け、 計測データから、概算の消費電力を計算し、置き換えた場合の節電効果を無償でレポート致します。 実データを用いることにより、より現実的で具体的な検討がお客様社内で進められるかと考えます。 是非、気軽にご検討願います。
計測方式毎に圧力範囲を計測可能な真空計を表にしております。真空計・真空ゲージの詳細については、個別に［お問い合わせ］願います。
低真空領域、中真空領域での圧力範囲をカバーするポンプを表にしております。記載以外のポンプや特殊な条件がある場合は、個別に［お問い合わせ］願います。
エドワーズのStokes Microvacシリーズは、大排気量のオイルシール式ピストンタイプの真空ポンプです。 80年以上の実績からなる信頼性と、低騒音、優れたシール性、最小限のメンテナンス、低い運転コストを実現する、最も効率的なピストンポンプです。 ストークスポンプは、多様なメカニカルブースターとの組み合わせにより、お客様のニーズにもフレキシブルに対応致します。 < Stokes特長> ● 堅牢構造で低フットプリント設計 ● 低い回転速度による大幅な長寿命化 ● シンプルなメカニズムによる保守の容易さ、プロセスのダウンタイムの最小化 ● ガスバラストバルブを標準装備 ● 潜在的な漏れを防ぐ内部オイル循環構造 ＜Stokesポンプ仕様＞ ・排気速度：255～1020m3/hr（3つの機種） ・到達圧力：3.3Pa（ガスバラストオフ）、26Pa（ガスバラストオン） ・水冷タイプ、鉱物油仕様 ・電源：50Hz 400V 3相, 60Hz 230/460V 3相 ・チェコLutin工場製
水封式ポンプは、以下のような特徴がございます。 ・水、油、薬品類の蒸気や液体を含んだガスの排気に適している ・ダスト、粉体を吸い込んだとしても、ポンプ構造がシンプルな為、トラブルが起きにくい ・真空室内に摺動部が無く潤滑が不要、また排気弁が不要 エドワーズの水封式ポンプは、シングルステージタイプとダブルステージタイプがあり、使用環境に合わせて、 最適な構造材料(ステンレス鋼、アルミニウム青銅、二相ステンレス鋼、ハステロイ、耐食性材料等)を組み合わせてご提案しております。 排気速度は、シングルステージのLRシリーズで最大48,000 m³/h、ダブルステージのHRシリーズで最大7,500 m³/h となります。 化学・製薬および石油化学アプリケーション、空冷コンデンサ排気、排煙脱硫、真空滅菌、海水脱気、食品加工、鉄鋼脱気工程で採用頂いております。 ＜蒸気エジェクタ＞ 要求される到達真空圧や条件によって、水蒸気を使用したエジェクタポンプと水封式ポンプを組み合わせたパッケージ提案も行っております。
エドワーズ nESシリーズは、排気フィルタ内蔵のコストパフォーマンスに優れたオイルポンプです。 熱処理、乾燥、コーティング、滅菌、油・樹脂脱気、食品加工、リーク検出、真空断熱、シリンダ充填など様々な製造業に関わる用途で使われています。 ＜nESポンプ仕様＞ ・排気速度：40～750m3/hr（9つの機種） ・到達圧力：6～50Pa（ガスバラストオフ）、70～150Pa（ガスバラストオン） ・空冷タイプ、鉱物油仕様 ・電源：50Hz 200-240V/380-415V, 60Hz 200-230V/380-400V ・駆動方式：モータ直結(nES40～300)、ベルト(nES470～750) ・中国天津工場製 nESシリーズは、メカニカルブースターEHとの接続が可能です。 組み合わせることでポンプの排気速度と到達圧力を向上させます。 ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
EHシリーズは、ルーツタイプの真空ポンプであり、メカニカルブースターとしてお使いになれます。 バッキングポンプと同時に使用する事により、ポンプのダウンタイムを短縮することができるため、差圧の大きい環境での使用に適しています。 排気速度310m3/hrから4915m3/hrまで、5モデルから選択できます。 ＜特長＞ ● 排気時間は非大気駆動型の1/2 流体動力継手によりバッキングポンプ（ロータリまたはドライポンプ）と同時に起動し、大気圧から排気が出来ます。従来の排気システムでは通常圧力が1000Pa以下になってからメカニカルブースタのスイッチをONにし、運転を開始していました。この場合に比較すると排気時間はおよそ50％も短縮されます。 ● コンパクトで経済的 EHシリーズは、バイパス配管、圧力スイッチ、バルブ、リレー回路等が不要です。よってコンパクトで経済的な排気システムの構築が出来ます。各種真空ポンプとの組合せも自由で、必要排気時間と予算に合わせて選択できます。
EXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度450m3/hrと750m3/hrの2モデルから選択できます。 標準でインバーターが搭載されており（コントローラー無し）、モーター回転数を調整し消費電力を低減いたします。 750m3/hrのモデルでは、ブローオフバルブ機能を有しており、低真空圧近くの気体をバルブを介して排気することにより、モーターへの負荷軽減による更なる省エネ効果が期待出来ます。 ＜特長＞ ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 ・到達圧力 <1Pa ・ ランニングコストの低減 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減 ブローオフバルブ機能によるモーターへの負荷軽減（750m3/hrのモデルのみ） ・ パージ機能により幅広い用途に適応 ・ 高電圧仕様（380～460V） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
GXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、一般産業向けに多くの納入実績がある製品です。 コントローラ、インバーターを標準搭載しており、オプション選択により外部システムとの通信が可能となります。 パージ機能を有しており、シャフトパージに対応、ポンプ内部を洗浄・フラッシングする機能（オプション）もあり、幅広い用途・プロセスに対応できるのが特長です。 排気速度に応じて、メカニカルブースター付属仕様（ケーシング内にポンプと一緒に収まる）も選択頂けます。 ＜特長＞ ・コントロールパネルを標準装備 リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ・到達圧力 1Pa（ポンプ単体）、0.1Pa（ポンプ＋メカニカルブースター） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
エドワーズでは、リチウム電池の製造工程において、特に乾燥工程にて多くの真空ポンプ（ドライポンプ）の設置実績がございます。 これまでの豊富な知識と実績により、最適な真空ソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空脱ガス（VD）と真空酸素脱炭（VOD）は、特殊合金鋼の生産によく使われるプロセスです。 これらは、鉄鋼の二次精錬工程において、水素や炭素などの不純物の度合いをを低減するために使用されています。 エドワーズが持つ真空ポンプを中心にソリューションをご紹介しております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当カタログは、化学産業に関連する真空ソリューションをご紹介しています。 エドワーズは、何千台もの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとケミカルプロセスの豊富な知識により、設計からシステム構築に及ぶ完全なパッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
E2Mシリーズは、2段式のロータリベーンタイプの真空ポンプです。 排気速度に応じて、4つの機種から選択できます。(E2M40, E2M80, E2M175, E2M275) 標準仕様の鉱物油仕様と、酸素混合ガスを排気する為のフォンブリンオイル仕様の2種類がございます。 冷却機構は、E2M40とE2M80が空冷タイプ、E2M175とE2M275が水冷タイプとなります。 その他、アクセサリ（オプション）を選択頂く事により、様々な環境下での運転に対応いたします。 ・ダストフィルタ ・キャッチポット ・ケミカルトラップ ・ミストフィルタ ・防振ゴム等 E2Mシリーズでは、メカニカルブースターEHとの接続が可能です。 組み合わせることでポンプの排気速度と到達圧力を向上させます。 ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
『EDSシリーズ』は、空冷式と水冷式があり、過酷な産業や化学的条件に おいても高い汚染物質処理能力を備えているドライスクリュー真空ポンプです。 高速ポンプにより、必要に応じてスループットを増加できるほか、粗引き速度が 速いためポンプのダウンタイムが短く、作業が迅速化されて長い稼働時間が実現。 また、危険な環境でも安全に使用でき、世界的な防爆基準で認証済みです。 【特長】 ■プラグアンドプレイシステム ■革新的で頑丈なスクリュー設計 ■テーパ型不等ピッチドライスクリュー ■高速運転 ■ポンプの停止時間を短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当カタログは、当社が取り扱う産業分野向けの真空ポンプをご紹介しています。 ドライポンプとオイルシールポンプの両方を幅広く取り揃えており、 経済的で環境に配慮したプロセスを実現するお役立ちいたします。 コーティングから乾燥、冶金からリチウムイオン電池の製造にいたるまで、お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。 【掲載製品（抜粋）】 ■ドライ真空ポンプ GXS ■ドライ真空ポンプ EDS ■セントラルバキューム用ポンプ EOSi ■ドライ真空ポンプ EDC ■化学プロセス用ドライ真空ポンプ EDP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『nXRi』は、コンパクトな設置面積で30～120ｍ3/hの排気速度性能を 実現するドライ真空ポンプです。 低電力で動作し、メンテナンスフリーの設計により、最大稼働時間と メンテナンスコストの削減が保証されます。 また、分析機器や真空システムへの統合がしやすいため、質量分析、 電子顕微鏡、リーク検出に好適。すぐに使用できる真空ソリューション が実現します。 【特長】 ■コンパクトな設置面積でスペースを最適化 ■ハイパフォーマンスなポンプが必要なときに好適 ■省エネ運用でコスト削減 ■完全オイルフリーかつダストフリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『nEXTターボ分子ポンプステーション』は、ターボ分子排気速度を 47～400L/sから構成可能で、粗引きポンプはロータリベーンポンプまたは ドライポンプから1～20m3/hを選択できます。 TICターボ＆インスツルメントコントローラが搭載されており、シンプルな インターフェースによってステーションの全制御が可能。 また、当製品は、完全に組み立てられた状態で、組み合わせたポンプに 適したミストフィルタや電源ケーブルなどの一般的なアクセサリを付属して 出荷されるため開梱後すぐに使用できます。 【特長】 ■ターボ分子ポンプの幅広い選択肢 ■フルコントロールが可能 ■ベントバルブの選択が可能 ■ユーザーによるメンテナンスが可能 ■頑丈なメタルフレーム ■低振動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当資料は、真空装置、除害ソリューション、および関連付加価値サービスの開発を 行っているエドワーズ株式会社の製品カタログです。 低電力消費量、低騒音を実現した「nXDS ドライスクロールポンプ」をはじめ、 「XDS スクロールポンプ」や「EM ロータリベーンポンプ」など、典型的な研究開発 および実験室施設向けの一般的なエドワーズ製品を掲載しております。 革新的な技術および共間エンジニアリングを組み合わせることで、幅広い科学用途において パフォーマンスを向上させる総合的な真空ソリューションを提供することができます。 【掲載内容(抜粋)】 ■主要な用途向けの真空製品 ■測定器 ■リークディテクタ ■部品とハードウェア ■サービスおよびサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『P3ポータブルハンドヘルドゲージ』は、測定データ用メモリを内蔵しているため、 複数の現場で圧力を直接測定し、モニタリングすることができます。 高精度のピエゾ・ピラニセンサを採用しているので、1.2×10^5～5×10^-2Paという 広域の圧力を測定し、正確に表示します。 本装置は真空条件でもそのまま使えるだけでなく、最大2000個の測定値を 内蔵メモリに保存し、表示することができます。 【特長】 ■測定範囲 1.2×10^5～5×10^-2Pa ■真空条件でも使用可能 ■USB経由でのデータ記録 ■内蔵メモリへの最大2000個のデータ保存(PCにエクスポート) ■電源はコード不要の9V標準バッテリ、または12V交流アダプタ ■選択可能な圧力単位(mbar、Tor、Pa) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ELD500』は、広範なアプリケーションに使用でき、迅速かつ正確に漏れを 検出できるように設計された高精度リークディテクタです。 詳細な分析により、読みやすい制御インターフェイスを通して動作状態(Pass/Fail)を 容易に読み取ることができます。 軽量でキャリーハンドルが付いているため可動性にも優れ、ベンチトップとして 使用することも、手軽にカートに積むことも可能です。 【特長】 ■TCO(総所有コスト)の削減 ■すぐに使えるモバイルソリューション ■様々なアプリケーションにカスタマイズが可能 ■高い安定性と精度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Edwardsでは様々な産業用途に対応できるよう、ロータリーポンプ、ピストン ポンプ、スクリューポンプ、メカニカルブースターポンプなど、すべてオイル シール型でご用意しています。 また、ポンプやアクセサリは、単独でも、工場検査済みの完成システムとしても 出荷することが可能です。 【取扱製品(抜粋)】 ■ロータリーポンプ E2Mシリーズ、ESシリーズ、Microvacシリーズ、EOSiシリーズ ■メカニカルブースターポンプ EHブースター、6インチブースター、HV8000ブースター ■ポンプアクセサリ インレットダストフィルタ、インレットキャッチポット ■真空システム用バルブ ■接続器具およびフランジ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『パッシブゲージ・コントローラ』は、HV装置からプロセス産業、またアクティブ ゲージを使用できないサイクロトロンなどにも、幅広い圧力測定用途の ソリューションとしてお使いいただける製品です。 コントローラは、ピラニ真空計およびペニング真空計と使用する「PGC201」と、 ピラニ真空計および電離真空計と使用して、さらに広範囲までをカバーする 「PGC202」の2種類を用意しています。 【特長(ピラニ真空計センサ)】 ■タングステンもしくは白金フィラメント ■経済的な検出セル ■完全整列および温度補償0～+40?C ■フィラメント温度の安定維持 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『シンプルサービスキット シリーズ』は、絶対に欠くことのできない メンテナンス作業を行うために必要な項目をすべてカバーできるよう構成された サービスキットです。 当社のすべてのシンプルサービスキットに当社の工場およびサービスセンター で使用するエドワーズオリジナル部品が付属しているので、同様の高水準を 維持する保守が可能になります。 【特長】 ■該当する場合は当社の高性能「Ultragrade真空オイル」も同梱 ■当社製品の大型ポンプの一部についてもサービスキットを用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Ultragrade』は、オイルシール式真空ポンプの潤滑剤として使用する場合 に大きなメリットが得られるよう設計された、無色無臭のオイルです。 特殊な調合により、真空性能を損なうことなく、腐食および摩耗を抑え、 さらに高い真空度で機能するとともにその真空度を実現する特別な潤滑が可能 になります。 【ラインアップ】 ■Ultragrade15 小型ポンプまたはコールドスタート用途に ■Ultragrade19 ロータリベーンポンプ用の最も一般的なオイル ■Ultragrade20 粘度を高めたオイルで良好な蒸気圧を確保 ■Ultragrade70 中/高粘度オイル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『STP-iXU457』は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 １KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の低減を図っています。 【特長】 ■低振動(1kHz～2kHz間の振動ピークを抑制) ■磁気軸受/自動剛性切替機能 ■供給電源 DC24V ■オプション電源でAC100-200Vも利用可能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『STP-iX457シリーズ』は、コントロールユニットの小型化を図り、コンパクト にポンプ下に搭載した、コントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 超小型電子部品を採用し、コントロールユニットの高さ寸法をコンパクトに収め、 ポンプ下に配置しました。既存モデルではポンプ横についていたコントロール ユニットをポンプ下に置くことでインストール性が格段に向上し、ポンプ重心の 不均衡が解消されました。 【特長】 ■インストール性・省スペースを重視した設計 ■最大消費電力 240W(既存製品から20％削減を実現) ■供給電源 DC24V ■全翼ブレード設計による優れた軽ガス圧縮比性能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『STP-iS2207』は、産業をリードする性能を備え、省エネルギー技術を一体型 プラットフォームに搭載した、完全一体型磁気軸受式ターボポンプです。 新規ローター設計によりプラットフォームの小型化に成功し、省エネルギー かつコンパクトなデザインを実現しました。 また、腐食性ガスにも対応可能です。 【特長】 ■完全一体型設計 ■防水・防塵に配慮した設計 ■冷却水温度35度まで対応 ■最大流量：3200 sccm N2/ 1000 sccm Ar ■省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『nXLi』は、静音運転と小さな設置面積を実現し、コンパクトながら便利、 かつ柔軟で高性能な空冷式単相ドライポンプです。 オイルを必要としない非接触型のポンプメカニズムは、メンテナンス無しで、 オイルを廃棄する手間もかけずに、最大稼働時間を最大5年延ばします。 また、逆流防止のため排気バルブを内蔵しています。 【特長】 ■空冷式単相ドライポンプ ■性能向上されたEMC対応機種 ■インテリジェントドライブ一時的過負荷保護 ■標準として手動制御、簡易リモート制御、シリアル通信制御 ■システムビルダーによって更に多くの制御オプションが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『nWRGシリーズ』は、単一ポートで大気圧～10-7Paまでの圧力を測定する、 デジタル式ワイドレンジゲージです。 簡単に設置できるコンパクトサイズで、出力はシリアル方式でセンサチューブ は交換可能です。また、鉛フリーの製品構成はCSAおよびC/USの認証を取得済み で、RoHSにも完全対応しています。 さらに、ご要望に応じて、影響を受けやすい分析機器向けの低外部磁場バージョン (L)を提供できます。 【特長】 ■DC15～48Vの幅広い電源電圧で動作 ■ゲージに名前を付けることで、ゲージの個別蓄積データを識別可能 ■ピラニゲージエレメントは自動真空設定 ■高真空でも汚染環境でも高速ストライキングを保証 ■オープンコレクタセットポイント出力を調整可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『nAPGシリーズ』は、測定範囲は大気圧～10-1Paまでの「nAPG-M」と、 大気圧～10-2Paまでの「nAPG-LC」の2種類のモデルから選べる、デジタル 式アクティブピラニゲージです。 いずれのモデルも簡単に設置できるコンパクトサイズです。出力はシリアル方式 でセンサチューブは交換可能です。また、鉛フリーの製品構成はCSAおよびC/US の認証を取得済みで、RoHSにも完全対応しています。 【特長】 ■DC15～48Vの幅広い電源電圧で動作 ■ゲージに名前を付けることで、ゲージの個別蓄積データを識別可能 ■センサチューブは150℃までベーキング可能 ■プロセス制御やインターロックが容易 ■W16フランジ採用・真空装置への接続が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『nAIMシリーズ』は、コンパクトで機能的なユニットにゲージヘッドと コントローラを一体化したデジタル方式のアクティブインバーテッドマグネ トロンゲージです。 出力はシリアル方式でセンサチューブは交換可能です。また、鉛フリーの製品 構成はCSAおよびC/USの認証を取得済みで、RoHSにも完全対応しています。 【特長】 ■DC15～48Vの幅広い電源電圧で動作 ■ゲージに名前を付けることで、ゲージの個別蓄積データを識別可能 ■事前のキャリブレーションなしに素早くチューブ交換可能 ■高真空でも汚染環境でも高速ストライキングを保証 ■影響を受けやすい分析機器向けの低外部磁場バージョン(L)を提供可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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