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ECR電子・イオン源
ECR(電子サイクロトロン共鳴)技術を用いた電子源・イオン源製品のカテゴリです。 エッチング、スパッタリング、表面改質、イオンビーム加工、質量分析など幅広いプロセス・研究用途に対応します。

