コフロックの製品・サービス一覧

当カタログは、コフロック株式会社が取り扱う『ガス発生装置』の総合カタログです。 【掲載内容】 ■ガス発生装置とは ■ガス発生装置導入事例 ■ガス発生装置レンジ表 ■窒素ガス発生装置一覧 ■酸素ガス発生装置一覧 ■オゾンガス発生装置一覧 ■水素ガス発生装置一覧 ■その他ガス発生装置一覧（クリーン・ドライエア、ガス混合装置） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『M series(MPZ)』は、PSA方式により、空気中から酸素ガスを濃縮し、オゾンガスの原料としていますので、 NOxガス(有毒)の発生を大幅に低減しています。 マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。 小型のコンプレッサーを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用することができます。 【特長】 ■全自動運転で操作は簡単 ■設置スペースに合わせてタッチパネル面を選択可能※1 ■マルチ排気ダクトにより前後左右の4方向への排気が選択可能※1 ■集約レイアウト及びタッチパネル採用により、操作性・メンテナンス性が向上※1 ■放電部は空冷式ですので、冷却水等の供給設備は不要 ■高純度酸素ガス発生装置（O2 90％）を内蔵 ■オプションで酸素濃度計設置可能 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※1　PZ-3Aを除く

• ガス発生装置

『Mini-CUBEシリーズ（MNTS）』は、95～99.999%の純度に対応した小型の 窒素ガス発生装置です。 超小型ボディーは卓上設置が可能。また、DCインバーター制御の コンプレッサーを採用し、省エネ機能を標準搭載しました。 周辺機器に違和感のない新デザインも特長で、分析・培養機器、 はんだ付装置への付帯装置として最適なシリーズです。 【特長】 ■発生量を20％増加し、小型、軽量化を実現(310×392×310mm) ■電源接続後、スイッチひとつでガスを供給 ■静音モデル　装置正面55dBを達成 ■省エネ機能搭載 ■単相AC100V－240Vに対応 ■新デザインを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『Mシリーズ（MNT）』は、装置の小型化・メンテナンス性の向上を追求した装置です。 マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてタッチパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。 小型のオイルフリーコンプレッサを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用することができます。 【特長】 ■設置スペースに合わせてタッチパネル面を選択可能 ■マルチ排気ダクトにより前後左右の4方向への排気が選択可能 ■集約レイアウトによる操作性・メンテナンスの向上 ■静音設計 58dB ■納入後1年もしくは8,000h保証体制 ■新規設計の専用基板の採用 ■法規対象外（第二種圧力容器、高圧ガス保安法等の対象外） ※実際の装置配色は変更になる可能性がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『MNTLシリーズ』は、発生量・吐出圧力の機器性能を大幅に向上した コンプレッサ内蔵型の窒素ガス発生装置です。 新型LCDパネル搭載により機能面も充実。 「MNTシリーズ」の大容量機種として機器の付帯・ラボ用の窒素供給源に 適しています。 【特長】 ■窒素ガス発生量を最大54.5％増加 ■オイルフリーコンプレッサを内蔵 ■空気圧縮機を含み1年間の安心保証対応 ■省スペース設計で、設置場所を選ばない ■新型LCDパネルの採用 ■静音設計で、装置正面の騒音値58.8dBを達成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『MNTL-NCPIIシリーズ』は、機器性能を大幅に向上した コンプレッサ別置型の窒素ガス発生装置です。 新型LCDパネル搭載により、機能面も充実した当シリーズは、 「MNTシリーズ」の大容量機種として機器付帯・ラボ用に好適です。 【特長】 ■窒素発生量を最大44％増量 ■設置面積を20％削減 ■低騒音化を実現 ■LCDパネル採用 ■汎用エアでN2発生が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『NTEシリーズ』は『NTシリーズ』の後継機種で、発生量・圧力等の機器性能を大幅に向上した他、 タッチパネル面の標準搭載により、機能を充実させました。 また、本機種で採用しておりますEcoモードは特許取得済みです。 【特長】 ■高機能化を実現 ■省スペース設計 ■静音型モデルなので装置正面の騒音値60dBを達成 ■メンテナンス性の向上 ■フリー電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『N2 IMPACT II』は、コンプレッサ内蔵型の窒素ガス発生装置です。 当製品で採用しているECOモード技術は特許取得済み。 PSA、コンプレッサの一括メンテナンスにより、メンテナンスコストを 削減できます。また、高耐久コンプレッサの採用により、メンテナンス周期を 約2倍に延長しました。（当社比） 【特長】 ■Ecoモード搭載のため窒素ガスの使用量により、最大49％の電力を削減 ■N2発生量が最大27.3％増加 ■外部エア供給機能を標準搭載 ■メンテナンス性の向上で手間とコストを削減 ■スクロールコンプレッサの採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『GENE-BASEシリーズ』は、ガス発生装置のコフロックとコンプレッサの 北越工業との技術融合から誕生した、屋外型の窒素ガス発生装置です。 低純度から高純度までラインアップし、お客様のご要望に合わせたご提案が可能です。 屋内外設置に対応し、屋外では45℃の高温環境下でも連続運転可能。防水性能はIPX3相当です。 装置内にコンプレッサを内蔵しているため、コンプレッサ室などの建造物が 不要となり、設置コストの大幅な削減が見込めます。 【特長】 ■屋内・外設置型 ■インバータ　スクリューコンプレッサ　組込型 ■45℃の屋外環境下で連続運転が可能 ■N2ガス＋圧縮空気を同時供給対応（業界初） ■60dB(A)以下の低騒音運転を実現（業界初） ■省エネ機能が進化（気筒休止システム） ■ドレン水の油水分離機能をパッケージ内に標準装備（業界初） ■メンテナンス性を考慮した、省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『NEXPシリーズ』は、高圧窒素ガスをオンサイト発生・供給することが 可能なレーザー加工用の窒素ガス発生装置です。 省エネ型窒素ガス発生装置「NEシリーズ」と、精製、昇圧機構を ユニット化し、導入の簡略化を実現しました。 レーザーカットのアシストガスの供給源として最適なシリーズです。 【特長】 ■99.999％の高純度対応 ■3.5MPa以上の定格吐出が可能（最大昇圧圧力4.7MPa） ■ボンベ交換が不要 ■汎用性を拡大 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『NE IIシリーズ』は、20-180N㎥/hの発生量をコンパクトな筐体設計で 可能とし、プロセスの改良により、窒素ガス発生量を従来機種比で約36.5%アップしました。 パネル扉の採用により、前後左右のメンテナンススペースが600mmのみで、 余分な設置スペースを排除できます。また、メンテナンスエリアは 装置右側面に集約されています。 【特長】 ■N2発生量が最大36.5％増加 ■1N㎥辺りの消費電力を最大26.4％削減 ■省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『NEMHシリーズ』は、60-180Nm3/hのレンジで業界最小クラスの 設置面積を誇り、窒素ガス発生量を従来機種比(NEシリーズ)で約10%アップしました。 また、独自の省エネ機能「気筒休止システム」を搭載しており、使用量に応じた 省エネ効果が期待できる他、屋外仕様の対応が可能で設置場所を選びません。 【特長】 ■N2発生量が最大12.5％増加 ■窒素ガス使用量に応じた省エネ機能を搭載 ■屋外設置に対応 ■低騒音設計 ■省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 窒素ガス発生装置

『Mini-CUBEシリーズ（MOXS）』は、DCインバーター制御のコンプレッサーを採用し、 省エネ機能を標準搭載した小型の酸素ガス発生装置です。 90%以上の酸素純度に対応。超小型ボディーは卓上設置を可能としました。 周辺機器に違和感のない新デザインも特長で、培養装置・バイオリアクターへの 供給、水産向け酸素付加、酸素付加燃焼、オゾン原料として最適なシリーズです。 【特長】 ■小型、軽量化を実現(310×392×310mm) ■電源接続後、スイッチひとつでガスを供給 ■静音モデル　装置正面55dBを達成 ■省エネ機能搭載 ■単相AC100V－240Vに対応 ■新デザインを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『Mシリーズ（MOX）』は、装置の小型化・メンテナンス性の向上を追求した装置です。 4NL/min、8NL/minの発生量がラインナップされています。 小型コンプレッサ内蔵で、AC100Vのコンセントがあれば、どこにでも設置が可能です。 酸素ガスボンベ交換の手間が不要で、大学・研究所などで幅広く使用されております。 【特長】 ■設置スペースに合わせてタッチパネル面を選択可能 ■マルチ排気ダクトにより前後左右の4方向への排気が選択可能 ■集約レイアウトによる操作性・メンテナンスの向上 ■静音設計 58dB ■納入後1年もしくは8,000h保証体制 ■新規設計の専用基板の採用 ■法規対象外（第二種圧力容器、高圧ガス保安法等の対象外） ※実際の装置配色は変更になる可能性がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『GENE-BASEシリーズ』は、ガス発生装置のコフロックとコンプレッサの 北越工業との技術融合から誕生した、屋外型の酸素ガス発生装置です。 ガス吐出圧力は0.2から0.5MPaまでラインナップし、お客様のご要望に合わせたご提案が可能です。 屋内外設置に対応し、屋外では45℃の高温環境下でも連続運転可能。防水性能はIPX3相当です。 装置内にコンプレッサを内蔵しているため、コンプレッサ室などの建造物が 不要となり、設置コストの大幅な削減が見込めます。 【特長】 ■屋内・外設置型 ■インバータ　スクリューコンプレッサ　組込型 ■45℃の屋外環境下で連続運転が可能 ■O2ガス＋圧縮空気を同時供給対応（業界初） ■60dB(A)以下の低騒音運転を実現（業界初） ■省エネ機能が進化（気筒休止システム） ■ドレン水の油水分離機能をパッケージ内に標準装備（業界初） ■メンテナンス性を考慮した、省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『OXシリーズ』は、水処理用、燃焼用、オゾン用、水産(養魚)用等、 様々な用途に使用されている中型の酸素ガス発生装置です。 酸素ガス純度90%以上で0.7～9.3N㎥/hの発生量がラインナップされています。外部エア供給型です。 全自動運転で操作は簡単。 スペースをとらないコンパクト設計です。 また、当製品は、高圧ガス保安法　第2種圧力容器の適用範囲外です。 【特長】 ■全自動運転で操作は簡単 ■スペースをとらないコンパクト設計 ■高圧ガス保安法　第2種圧力容器の適用範囲外 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『Mini-CUBEシリーズ（MOZS）』は、卓上サイズの超小型オゾンガス発生装置です。 内蔵の酸素ガス発生装置で発生した酸素を原料とすることにより、 有害なNOxガスの発生を大幅に減らしたオゾンガスを提供する装置です。 ゴム、樹脂のオゾン劣化試験、化学実験用の酸化促進ガス及び、農業、 養殖業界での生産環境の殺菌用等、さまざまな用途にご使用頂けます。 さらにMOZSは従来の機械的なイメージから一転したスタイリッシュなデザインとその優れた特性で、 病院、福祉関連施設、ホテル、食品工場、スーパー等において殺菌・脱臭などの様々なニーズにお応えします。 【特長】 ■小型、軽量化を実現 ■有害なNOxガスの発生を大幅に低減 ■DCインバーター式空気圧縮機採用による省エネ化 ■静音モデル　装置正面55dBを達成 ■電源AC100V～240V対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『PZHシリーズ』は、セラミック管を使用した高濃度オゾンガス発生装置です。 オゾンガス濃度はダイヤルにて、設定可能。オゾンガス圧力が0.15MPaと 高いので、エジェクター等による水溶解が容易です。 また、オゾナイザーは空冷式の為、冷却水不要な他、コンプレッサーを 内蔵しており余分な配管・配線が不要です。 【特長】 ■酸素ガス発生装置、コンプレッサー内蔵 ■オゾンガス圧力が0.15MPaと高いので、エジェクター等による水溶解が容易 ■オゾナイザーは空冷式の為、冷却水不要 ■オゾン濃度が高濃度 ■周波数制御によって、オゾン濃度を細かく制御可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『Mini-CUBEシリーズ（MAIRS）』は、卓上型のクリーン・ドライ・エア発生装置で、 大気圧露点-70℃以下のエアを供給することができます。 空気清浄等級0:2:0(JIS B 8392-1:2012)をクリアした製品ガスは分析機器、 紛体の圧送、冷凍機の結露防止など様々な用途に使用可能。 窒素・酸素発生装置同様、コンプレッサを内蔵した超小型ボディーは 卓上設置ができます。 【特長】 ■小型軽量化を実現 ■電源接続後、スイッチひとつでガスを供給 ■静音モデル　装置正面55dBを達成 ■流量計、減圧弁を標準搭載 ■省エネ機能搭載 ■単相AC100V－240Vに対応 ■供給するクリーン・ドライエアの状態を把握することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『Mシリーズ（MCDA）』は、装置の小型化・メンテナンス性の向上を追求した装置です。 マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてタッチパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。 小型のオイルフリーコンプレッサを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用することができます。 【特長】 ■設置スペースに合わせてタッチパネル面を選択可能 ■マルチ排気ダクトにより前後左右の4方向への排気が選択可能 ■集約レイアウトによる操作性・メンテナンスの向上 ■静音設計 58dB ■納入後1年もしくは8,000h保証体制 ■新規設計の専用基板の採用 ■法規対象外（第二種圧力容器、高圧ガス保安法等の対象外） ※実際の装置配色は変更になる可能性がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『GENE-BASEシリーズ』は、ガス発生装置のコフロックとコンプレッサの 北越工業との技術融合から誕生した、屋外型の酸素ガス発生装置です。 屋内外設置に対応し、屋外では45℃の高温環境下でも連続運転可能。防水性能はIPX3相当です。 装置内にコンプレッサを内蔵しているため、コンプレッサ室などの建造物が 不要となり、設置コストの大幅な削減が見込めます。 【特長】 ■屋内・外設置型 ■インバータ　スクリューコンプレッサ　組込型 ■45℃の屋外環境下で連続運転が可能 ■ＣＤＡ＋圧縮空気を同時供給対応（業界初） ■60dB(A)以下の低騒音運転を実現（業界初） ■省エネ機能が進化（気筒休止システム） ■ドレン水の油水分離機能をパッケージ内に標準装備（業界初） ■メンテナンス性を考慮した、省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

必要な時に必要な量だけ水を電気分解し、純度99.999%の水素ガスを製造。 ガスボンベを使う際の運搬、交換、管理作業から解放されます。 省スペースで設置が可能。しかもメンテナンスフリー。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

水素吸蔵合金キャニスターは、水素を吸収・放出する特性を持つ水素吸蔵合金が充填された容器です。 コンパクトで安全。繰り返し利用することが可能。ガスボンベに代わる新たな水素供給ツールです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガス発生装置

『RK20T』『RK50T』は、水（H2O）・窒素（N2）・空気などの 流量計測に役立つ樹脂製フローメーターです。 微小流量用の『RK20T』、大流量用の『RK50T』をご用意しており、 それぞれバルブの有無が選べます。 電源が不要で、様々な場所に設置することができ、 エアーサンプリングやパージシステムなど各種実験装置への搭載や、 工場で使用されるエアーなどの状況監視に適しています。 【特長】 ■気体（Air/N2）・液体（H2O）の計測が可能 ■『RK20T』は0.05～0.5L/min（Air/N2）の微小流量から対応 ■『RK50T』は30～300L/min（Air/N2）の大流量まで対応 ■在庫を多数用意しており、短納期・低価格でのご提供が可能 ■シンプルで視認性の高いデザイン ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他計測・記録・測定器

コフロックは“流体を科学する”をモットーに流体の微少流量域を主とした 計測・制御技術を探究すること70余年。多彩なフィールドで信頼を積み重ね、 今日では様々な分野で国内トップクラスのシェアの実績を誇っております。 当ページでは、コフロック株式会社が取り扱う『流体計測制御機器』の総合カタログを無料配布しております。 各種流体計測機器の原理や選定の手引きも掲載しており、製品の選定にお役立てください。 【掲載内容】 ■マスフローコントローラ/メータ（電子式流量計） ■フローメータ ■流量制御バルブ ■圧力制御バルブ ■その他配管部品 ■ガス発生装置/エンジニアリング装置 ＜セミコンジャパン2023に出展します！＞ 半導体洗浄装置等の清浄度を要求されるプロセスに向けて開発中のクリーンコントロールシステムを用いて 液体の微小流量コントロールのデモンストレーションを行います。 この機会にぜひ実製品をご覧ください。 【展示会情報】 ＜SEMICON Japan 2023＞ 会期：2023年12月13日(水)～15日(金) 会場：東京ビッグサイト（小間番号：6720）

• 流量計

『EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES』は、表示器一体型で各種機能を 使用できるデジタルマスフローメータです。 ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能。 RS485通信機能、アナログ出力4-20mA（0-5VDC/1-5VDCに変更可能）、 積算パルス出力を有しております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2（Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替） ■最大流量：気体 10SCCM～500SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■C.F.値が0.50～1.50のガス種はお客様で追加登録可能 ■流量出力信号は表示器にて変更可能（出荷時 4-20mA） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

『MODEL EX-250S SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種の切替が できる小型デジタルマスフローコントローラ/メータです。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/24VDCを 選択可能。全流量制御範囲は応答1sec以内となっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 5SCCM～10SLM ■精度：±1％F.S. ■コンパクト設計 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

『MODEL EX-550 SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種切替が 可能なメタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータです。 S.P.精度で高精度な計測ができ、全流量制御範囲は応答1sec以内。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/ 24VDCを選択いただけます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：10SCCM～5SLM ■精度：±1％S.P.（25～100％F.S.）、±0.25％F.S.（～25％F.S.） ■S.P.精度で高精度な計測が可能 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

『MODEL 8700 SERIES』は、幅広い流量レンジに対応する表示器付 マスフローコントローラ/メータです。 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能。対象流体は、 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体です。 また、RS485通信機能、アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を 有しています。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（出荷時 0-5VDC） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、スタンダードマスフローコントローラ『MODEL 3660 SERIES』 をご紹介します。 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は10SCCM～100SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、スタンダードマスフローメータ『MODEL 3760 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は10SCCM～100SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

『MODEL 3200 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する ハイグレードマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、ハイグレードマスフローメータ『MODEL 3100 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等　 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、メタルシールマスフローメータ『MODEL 5410 SERIES』を ご紹介します。 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象。最大流量は10SCCM～20SLM、 精度は±1％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：0～50℃ ■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE ■電気接続：D-sub9ピン KFC standard（SEMI standard準拠） ■重量：約800g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

『MODEL 3810DSII SERIES』は、表示器一体型のローコストマスフロー メータです。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定など各種機能を使用可能。アナログ出力 4-20mA/1-5VDCを選択いただけます。 また、ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御もできます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±2～3％F.S. ■表示器一体型 ■アナログ出力4-20mA/1-5VDC選択可能 ■ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、ローコストマスフローセンサ『MODEL 3810SSERIES』を ご紹介します。 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象。最大流量は10SCCM～50SLM、 精度は±3～5％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■接ガス部材質：SUS303、PTFE、FKM（オプション NBR or CR） ■電気接続：AMP 171826-5（ケーブル側171822-5） ■重量：約250g、約350g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、大流量用マスフローコントローラ『MODEL HFC-303 SERIES』 をご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等（気体）、最大流量は100～1000SLM（気体）となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイド＋空圧2段バルブ（非通電時 閉） ■精度：±1%F.S. （25℃） ■許容周囲温度：5～45℃ ■電気接続：D-sub15ピン ■重量：約2400g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、大流量用マスフローメータ『MODEL HFC-303 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は100～1000SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■許容周囲温度：5～45℃ ■接ガス部材質：SUS316、Ni、SUS302、FKM ■電気接続：D-sub15ピン ■重量：約1600g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

当社で取り扱う、低圧力損失大流量用マスフローメータ『MODEL HFM-200W/LS SERIES』をご紹介します。 N2換算でF.S.15000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、精度は±3～5％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■再現性：±0.5%F.S. ■許容周囲温度：5～45℃ ■許容周囲湿度：10～90%RH（結露なきこと） ■電気接続：D-sub15ピン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計

『FLOW COMPO』は、リードアウトユニット「CR-400B」とマスフロー コントローラ/メータをドッキングしたハンディ質量流量制御/計測ユニットです。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLM となっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ＜FCC4000-3660＞ ■搭載MFC/MFM：3660（MFC） ■フルスケール流量（N2換算）：10SCCM～20SLM ■精度：±1%F.S. （25℃） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

『MODEL CR-400B』は、マスフローコントローラ/メータ用電源及び 流量設定表示器です。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定、マスフローコントローラのバルブ強制 開閉など、各種機能を使用可能。 RS485通信機能やアナログ入出力0-5VDCによる外部からの操作もできます。 【特長】 ■マスフローコントローラ/メータ用電源及び流量設定表示器 ■表示器操作で各種機能使用可能 ■RS485通信機能 ■アナログ入出力0-5VDCによる外部からの操作も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

『MODEL CK SERIES』は、マスフローコントローラ用流量設定器です。 入力は5VDC、出力は5Vをフルスケールとして分割。設定精度は 0.1％フルスケールとなっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【標準仕様】 ■入力：5VDC ■出力：5Vをフルスケールとして分割 ■抵抗値：10kΩ（標準） ■設定精度：0.1％フルスケール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

『MODEL DPM-3』は、マスフローコントローラ/メータ用瞬時流量表示器です。 7セグメントLED、3・1/2桁で表示。電源は5VDC、取付はパネルマウント となっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【標準仕様】 ■表示：7セグメントLED、3・1/2桁 ■電源：5VDC ■取付：パネルマウント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

当社で取り扱う、マスフローコントローラ/メータ用電源『MODEL PSK-FB SERIES』をご紹介します。 1FBで1系統、3FBで3系統、6FBで6系統の電源供給が可能。 入力電圧（周波数）は85～132VAC（47～66Hz）となっており、0～40℃で ご使用いただけます。 【標準仕様（抜粋）】 ■電気接続 　・D-sub9ピン メス（MF本体側） 　・D-sub15ピン メス（表示器、設定器側） ■重量 　・PSK-1FB：約800g 　・PSK-3FB：約1300g 　・PSK-6FB：約1700g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 電源