N2、Air、H2等が対象！メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータのご紹介
『MODEL EX-550 SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種切替が 可能なメタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータです。 S.P.精度で高精度な計測ができ、全流量制御範囲は応答1sec以内。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/ 24VDCを選択いただけます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：10SCCM～5SLM ■精度：±1％S.P.（25～100％F.S.）、±0.25％F.S.（～25％F.S.） ■S.P.精度で高精度な計測が可能 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：350kPa（G） ■許容周囲温度：5～50℃ ■接ガス部材質 ・EX-550C（MFC）：SUS316L、磁性ステンレス、PTFE ・EX-550M（MFM）：SUS316L、PTFE ■電気接続：D-sub9ピン HR-10A×2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の 微少量流域を主とした計測・制御技術を探求すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、 今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、 人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。