【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施 ○板厚50μmのワークも搬送可能 【仕様例】 ○装置寸法（L×W×H） 15362 × 3000 × 1400 mm ○基板サイズ（有効幅） 600mm ○処理液 硫酸-過水系 ○搬送速度 0.06～6m/min ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

ミクロンレベル微小液滴の高速噴射により薬液処理後のリンスなどに効率良く高い洗浄効果が得られ、ライン長の短縮が図れます。その他洗浄ツールも搭載可能（超音波ディップ、メガシャワー、アルカリ、酸、機能水洗浄）

◆0.2tのガラスのロールブラシによる洗浄が可能 ◆独自のエアーナイフ機構により薄板の液切りが可能 ◆超大型基板、超薄型基板にも対応

【特長】 ○超高圧洗浄の洗浄評価用テスト機として使用できます ○Max.22MPaの超高圧ポンプにより高い洗浄効果が得られる ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

【特長】 ○ガラス基板の各種洗浄に使用できるローるブラシ洗浄装置です ○コンパクトにまとめた省スペースモデルで、使い易い機能的な設計 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

【特長】 ○Max. 22.5MPaの超高圧マイクロジェットにより非接触で高い洗浄効果を実現します。 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

【特長】○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施 ○板厚50μmのワークも搬送可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

【特長】 ○エッチングマシン ITOエッチングマシン・Crエッチングマシン・AIエッチングマシン ○現像装置 各種レジスト・カラーフィルター ○洗浄装置 受入洗浄装置・成膜前洗浄装置・レジスト塗付前洗浄装置・配向後洗浄装置 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。