【特徴】 ○狭いスペースでも設置可能 ○ファインパターン対応機種 ○使いやすい機能とすっきりしたデザインを兼ね備えた設計 ○数々の安全機能を標準装備 →ヒーターの空焚き防止 →過昇温防止 →ポンプ空運転防止 →非常停止 →剥離上フタ二重 →フタインターロック ○お客様のニーズにあった設計変更が可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せる ○上エッチングは独立圧調でさらに高精度 ○板厚50μmのワークが安定して流せる ○有効幅 ： 600mm ○搬送速度 ： 1.0～7.0m/min（常用3.5m/min） ○現像・エッチング・剥離ポンプはインバーター制御 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○薄板搬送可能な剥離装置 ○FPC搬送対応可能 ○スプレー除去中に発生するレジストの微細片を処理するカス取り機構付 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せる ○上エッチングは個別圧調でさらに高精度 【仕様例】 ○装置寸法（L×W×H）　8490 × 3400 × 1300 mm ○基板サイズ（有効幅）　610mm ○処理液　水酸化ナトリウム水溶液 ○搬送速度　0.4～3.5m/min ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

◆狭いスペースでも設置可能 ◆使いやすい機能とすっきりしたデザイン ◆お手頃価格のエントリーモデル ◆標準機のため短納期 ◆仕様に合わせたカスタマイズが可能

◆独自の搬送方式により０．０３ｔのＦＰＣが治具なしで枚葉搬送が可能 ◆薄板基板でも搬送ローラーによるダメージがない ◆薄板用液切り方式によりワークの折れ、シワがない ◆２インチ角の小ワーク(セラミック基板等)でも処理可能 ◆標準機だから短納期 ◆仕様に合わせたカスタマイズが可能

【特長】 ○超大型基板にも対応。 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

【特長】 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます○上エッチングは個別圧調でさらに高精度 ○板厚50μmのワークが安定して流せる ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

【特長】 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます ○上エッチングは独立圧調でさらに高精度 ○板厚50μmのワークが安定して流せる ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。