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剥離装置 剥離・アルカリエッチングライン

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最終更新日:2013年04月16日

株式会社二宮システム
株式会社二宮システム
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高精度なアルカリエッチングが可能な、高精度処理タイプです。

剥離・アルカリエッチングラインは、高精度なアルカリエッチングが可能な、剥離装置です。ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精度です。スプレー除去中に発生するレジストの微細片を処理するカス取り機構が付いています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

    エッチング装置その他半導体製造装置
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剥離装置 剥離・アルカリエッチングライン

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基本情報

【特徴】 ○薄板搬送可能な剥離装置 ○FPC搬送対応可能 ○スプレー除去中に発生するレジストの微細片を処理するカス取り機構付 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せる ○上エッチングは個別圧調でさらに高精度 【仕様例】 ○装置寸法(L×W×H) 8490 × 3400 × 1300 mm ○基板サイズ(有効幅) 610mm ○処理液 水酸化ナトリウム水溶液 ○搬送速度 0.4~3.5m/min ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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【用途】 ○水酸化ナトリウム水溶液やアミン系薬液で導体パターン完成後の  不要レジストを除去 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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◆FPC用 現像・エッチング・剥離装置/洗浄装置 ◆COF用 現像・エッチング・剥離装置/洗浄装置 ◆FPD(TFT/PDP)用 現像・エッチング・剥離装置/洗浄装置 ◆太陽電池用 洗浄装置 ◎ファイン化技術 ノズル配列、ノズル特性、オシュレーション、 圧力調整等、総合的に組み合わせて設計しなければファインは再現出来ません。 ◎薄板搬送技術 薄板をダメージ無く搬送するには、経験と実績が不可欠です。二宮システムでは創意工夫を加え、確実な搬送を実現しました。 ◎高信頼性 より高いレベルを目指して作られた装置は、お客様に安心してご使用頂けます。二宮システムは装置作りに手を抜きません。

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