【オプション例】 ・プロセス排気用除外設備 ・マニュアルハンドリングから自動搬送システムまで対応 ・不活性ガス用ピュリファイア ・プリカーサボトルサイズの選択 ・お客様の仕様にあわせカスタマイズ化 ・低価格のＡＬＤ装置仕様っもご用意 【装置概要】 ・到達圧力（プロセス時）：≦7Pa ・成膜温度：400℃（600℃対応ヒータ開発中） ・基本構成サイズ：2160×890×1940ｍｍ プリカーサ本数：最大５本 【成膜応用事例】 Al₂O₃ TiO₂ HfO₂ ZrO₂ SiO2 Ta2O5 TiN Sin 他膜種も対応致します。 【ALD受託成膜サービス】 弊社、相模原事業部内のALD成膜装置を使用し、受託成膜を行っております。ご要望のプリカーサによる成膜をお手伝いさせていただきます。お客様立ち合いによるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる比較評価等、あらゆるニーズにお応えします。 成膜後の評価業務にもお応えいたします。 定期的な少量Lotでの受託生産にも応じますのでお気軽にお問合せください。

【ALD装置の特長】 ■プリカーサの熱分解リスクの低減 ■バブリングを用いないパーティクルレス化 ■供給・排気ラインの適した温度管理 ■Hi-Watty（AlNヒータ）を採用したヒートステージ ■多様なカスタマイズと安全構造 ■成膜種例（Al2O3、TiO2、HfO2、ZrO2、TiN、AlN 等） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ▼お問い合わせ先 TEL：相模原事業所　042-704-5352 MAIL：info@watty.co.jp