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カーボンコーター
TEM、SEM、XMA用のカーボン蒸着装置です。切片や支持膜の補強、カーボン支持膜の作成、X線分析の際の導電蒸着などに使用します。応用動作としてTEM試料のPtシャドウイングやレプリカ作成、SEM試料のPtコーティングにも利用可能。