【主な特徴】 ○マグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。 ○コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。 ○コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。 ○標準ターゲット金属は白金(Pt)。 ○イオンシャワー電極(オプション)で機能の追加。 【その他の特徴】 ○シリコン基板の大型化にお応えする200mm径の大面積試料ステージをマグネトロンターゲット電極で実現。 ○試料ステージの大型化で、8インチウェーハや多数のSEM用試料を同時にコーティングすることが可能で、検査作業を効率化。 ○マグネトロン型電極は、ターゲット金属の表面に沿って平行な磁場を形成し、プラズマ放電によって 　 発生する電子をこの磁場に閉じこめ、雰囲気ガスのプラズマ化を促進します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。 ○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。 ○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。 ○空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。 ○雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○ターゲットは空冷式マグネトロン方式で、貴金属以外の金属コーティングを可能にし、イオンダメージ、熱ダメージを最小限に抑えています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【主な特徴】 ○低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。 ○試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。 ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。 ○小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。 【その他の特徴】 ○プレーナーマグネトロン型ターゲットです。 ○試料台はアノード電極と絶縁したフローティングタイプです。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○オプションの傾斜機構付き回転試料ステージで、回り込み性能良好。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。 ○押し間違えても作動しない誤動作防止機能付きで、複数人の使用でも安心してお使いいただけます。 ○調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロール スイッチを押すだけ。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。