電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。
マグネトロンスパッタ装置 ＭＳＰ－２０－ＴＫは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のタングステンコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。 ○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。 ○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。 ○空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。 ○雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○ターゲットは空冷式マグネトロン方式で、貴金属以外の金属コーティングを可能にし、イオンダメージ、熱ダメージを最小限に抑えています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
お問い合わせください
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
※お問い合わせください
用途／実績例
【用途】 ○電子顕微鏡の試料にタングステンコートを施す装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良､改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。