『一体型特殊真空槽』は、ピンホール、マイクロクラックフリーの 超高真空対応チャンバです。 Heリーク実績値は、2.0ｘ10-12Pa/m3を実現。（内面電解研磨処理品） 鍛造ブロックからの削り出し加工で、必要なICFエッジポートを持つ 真空槽を成形します。 また、溶接加工部がなく、溶接部のピンホール、経年使用で生ずる マイクロクラックによるリークは発生しません。 【特長】 ■ピンホール、マイクロクラックフリー ■必要なICFエッジポートを持つ真空槽を成形 ■溶接加工部がない ■マイクロクラックによるリークは発生しない ■Heリーク実績値は、2.0ｘ10-12Pa/m3を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加工受託
• 配管材

規格品の加熱システムでは難しい加熱に対応するためには、状況にあわせたオリジナルの加熱システム設計（ヒータと制御装置）が必要となります。ダックハウスではあなたの必要とする加熱システム構築のお手伝いをいたします。シーズヒータ、カートリッジヒータはもちろんこれらを応用したプレートヒータ、ブロックヒータなど、大気中・ガス中・真空中とさまざまな環境での加熱に対してアイデアを提供します。

• その他エネルギー機器
• その他機械要素

DH300HD（G/M）は低騒音タイプの磁気浮上型TMPを搭載したハイグレードタイプで、メインのアングルバルブと粗引きラインを配置することによりTMPの汚染を防止するとともに、ポンプを停止することなく試料交換を行うことが可能です。さらに蒸着モニタを標準装備していますので、より精度の高い膜厚制御や自動成膜を行うことも可能となります。

• その他

DH300SD（G/M）は立上りの早い広帯域TMPを搭載させたφ300のベルジャ型高真空排気装置に蒸着源を組み込んで構成された汎用型の小型蒸着装置です。イニシャルのコストパフォーマンスに重点をおき、半導体や光学、電子部品など広範囲の用途において研究開発や準生産向けに拡張性を持たせたシステムとして構成しています。

• その他