標準仕様は抵抗加熱蒸着源タイプでSDGはガラスベルジャSDMはメタルベルジャ（いずれもマニュアルハンドリング）仕様となります
DH300SD（G/M）は立上りの早い広帯域TMPを搭載させたφ300のベルジャ型高真空排気装置に蒸着源を組み込んで構成された汎用型の小型蒸着装置です。イニシャルのコストパフォーマンスに重点をおき、半導体や光学、電子部品など広範囲の用途において研究開発や準生産向けに拡張性を持たせたシステムとして構成しています。
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基本情報
【特徴】 ○拡張性に優れた設計 ○高機能で低価格を実現 ○信頼の高い安全性 ●その他機能や詳細はお問合せください
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
【用途】 ○薄膜作成 ●その他機能や詳細はお問合せください
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企業情報
研究・開発に必要な真空部品・加熱システムの構築をお手伝いします。市販のメーカからは入手できないオリジナル部品の設計・製作を行います。 ”こんなものは出来ないかなー”というご希望にお答えします。