LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！
Sapio-DBR（SGC-S1550i/S1300iシリーズ）は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。 LED用光学多層DBR膜の成膜に最適です。 【特徴】 ○優れた量産性能 →基板搭載数：φ2inchウェハー約400枚/batch φ4inch ウェハー約110枚/batch →タクト：3h/batch 以内 →必要設置エリア：W4.6m×D6.3m×H3.2m ※SGC-S1550i 使用時 ※水晶式膜厚計の脱着の際には 工場側天井パネルの取外し等が必要な場合がある ○優れた再現性 連続batch保証も対応 ○膜質の調整が可能 Chippingによる膜の損傷を抑制するための 条件補正も協力できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【標準装備】 ○超高速排気系 ○EB-GUN ×2式 ○RFイオンソース ○ファイバー式光学式膜厚計 ○6連水晶式膜厚計 ○ハロゲンヒーター（120℃±5℃内） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
LED用光学多層DBR膜用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。
