拡張性、操作性、安全性はSDタイプ同様に充実しています。
DH300HD(G/M)は低騒音タイプの磁気浮上型TMPを搭載したハイグレードタイプで、メインのアングルバルブと粗引きラインを配置することによりTMPの汚染を防止するとともに、ポンプを停止することなく試料交換を行うことが可能です。さらに蒸着モニタを標準装備していますので、より精度の高い膜厚制御や自動成膜を行うことも可能となります。
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基本情報
【特徴】 ○拡張性に優れた設計 ○高機能で低価格を実現 ○信頼の高い安全性 ●その他機能や詳細はお問合せください
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途/実績例
【用途】 ○薄膜作成 ●その他機能や詳細はお問合せください
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研究・開発に必要な真空部品・加熱システムの構築をお手伝いします。市販のメーカからは入手できないオリジナル部品の設計・製作を行います。 ”こんなものは出来ないかなー”というご希望にお答えします。