※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

【概要】 ■シリコン基板ダイシング加工 ・角型などご指示いただいた寸法でダイシングカットし、鏡面仕上げ対応 ■石英ウエハ、GaAsウエハ、Geウエハも取扱い有り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハ加工/研磨装置
• ウエハー
• 加工受託

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 製造受託
• その他受託サービス

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 配管材
• その他受託サービス
• その他

【ガス供給ユニット設計・製造】 ■装置内ガスコントロールシステム（単弁、集積）半導体液晶、ファイバー製造向け ■C/R内ガス分配ユニット（単弁、集積）半導体液晶、ファイバー製造向け ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 計装制御システム
• 製造受託
• その他受託サービス

【特徴】 〇次世代のエネルギー貯蔵用材料として ○賦活処理 ○各特性は、賦活方法の検討により、比較的均一な特性を示しております ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他高分子材料

【特徴】 ○シリコンウエハ ○各種成膜加工サービス ○レジストパターニング加工、Cuメッキ加工 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他高分子材料

【特徴】 ○タンク制御温度・・・・・・・・60～65℃（センサーPT100Ω） ○配管制御温度・・・・・・・・・70～75℃（センサーPT100Ω） ○タンク・配管温度異常・・・・110℃（センサーサーモスイッチ） ○Ｈ2Ｏタンク水位検知用に、H・Mレベルの2つの光学式液面センサーがあります ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○防爆対応（温冷水循環式）精密試験槽使用による温度安定度±0.5℃（強制循環/垂直層流方式） ○高精度圧力センサー（英国製）仕様 ○±0.04%読値（20～100％F.S） ○±0.008%読値（0～20％F.S） ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○硬い SUSや超合金よりもずっと硬い ○超低摩擦 非常に低摩擦係数で超潤滑性 ○耐摩耗性 非常に磨耗しにくく磨耗汚染が無い ○耐食性 不活性で錆びない ○絶縁性 10E+6～10E+12Ω ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○Windowsパソコン操作がグラフィカルで分かりやすくなっています。 ○温度・圧力・流量・電圧・電流などのデータをパソコン画面上に表示し、データを記録、テキスト形式で保存できますのでデータ加工が可能です。 ○各運転パターンを設定することが可能です。 ○ガス漏れ、地震、各種アラ－ム設定にてガス供給を停止、不活性ガスでパージし、安全に停止することが可能です。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○ガス漏れを防ぐ ○集積タイプ ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他半導体製造装置