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MEMSの部分工程請負、全体開発試作から量産ファンダリまで幅広く対応します。 ２インチや異型の基板から12インチ(300mm)のMEMSラインのネットワークによりあらゆるご要望に対応。 １枚からの露光、エッチング受託加工、成膜サービス等もお気軽にご相談ください。 本格的なMEMS専用ラインでのファンドリーサービスです。 【サービス一覧】 ・PZT成膜サービス スパッタ法で４，５，６，８インチに対応 ・Siディープエッチングサービス ２～１２インチに対応します ・100℃以下の低温CVD膜付けサービス ２～６インチに対応します。 ・8インチ, 12インチMEMSファンドリーサービス 大型チップ向けMEMS製造が可能 ※詳細はPDFをダウンロード下さい。
