センシリオンの製品・サービス一覧

センシリオン株式会社で取り扱う『EK-F5x』について ご紹介いたします。 “SFC5xxx/SFC6xxx マスフローコントローラー"および “SFM5xxx/SFM6xxxマスフローメーター"用の評価キット。 また、供給電圧は100-240Vとなっております。 【付属内容】 ■RS485(DB9端子)-USB 変換ケーブル×1(SFC5xxx/SFM5xxx用) ■アダプター ケーブル(M8端子)×1(SFC6xxx/SFM6xxx用) ■100/240V ACアダプター(WW対応)×1 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC6000D-50slm』は、再現性、精度、制御範囲、速度の点で 優れたパフォーマンスを発揮するマスフローコントローラーです。 優れた価格性能比と納期が8週間という短納期でサンプルが 入手できる非常に魅力的な製品。 また、非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5300』は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定 および制御することができるマスフローコントローラーです。 コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定でき、 本体ボディーは金属製。 また、当製品の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには 2つのデジタルインターフェイスを用意しています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5 and 10 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10 bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5330』は、コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな 測定範囲を実現するマスフローコントローラーです。 「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに好適。 また、バルブレスタイプもご用意しており、同じ性能特性を備え、用途も 類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2 and 5 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5400』は、様々なインターフェースと様々な流体接続ができる 多用途マスフローコントローラーです。 50sccm～200slmの最大流量を測定でき、センサー信号は、チップ上で校正、 温度補償されたデジタル信号に直接変換。 また、複数のガス校正データを1つのデバイスに保存でき、動作中の ガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックする こともできます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock, VCO, VCR, Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5500-2slm』は、ドリフトすることがなく、市場で再校正する 必要がないマスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせており、幅広い用途に 適した標準品として入手可能。 また、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しており、標準的な 設定済みのバリエーションからお選びいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2 slm ■フルスケール流量：2000 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：8bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5500-0.5slm』は、複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた マスフローコントローラーです。 当製品は、マイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のある CMOSens MEMS技術を活用。 また、市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、 市場で再校正する必要がありません。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5slm ■フルスケール流量：500sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5500-10slm』は、幅広い用途に適した標準品として入手可能な マスフローコントローラーです。 本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、 産業の環境での幅広い用途に好適。 また、一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に 対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5500-200slm』は、一台の製品で複数の流量範囲に対応できる マスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせ手織り、幅広い用途に適した 標準品として入手することが可能。 また、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：200slm ■フルスケール流量：200000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air, O2 and N2 flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。