センシリオンの製品・サービス一覧

『SLQ-QT500』は、水または炭化水素(アルコール、溶剤、オイル、燃料、 接着剤)系液体に対して最大120ml/minの流量範囲が測定可能で、粒子を 含んだ液体や高粘度の液体の測定に優れた液体フローセンサーです。 SCC1センサーケーブルの1つと組み合わせて半導体業界の要求の厳しい コーティングシステムや、他業界の様々なディスペンシングおよび 液体フローシステムに容易に組み込むことが可能。 当製品の高い感度と測定スピードは、高速ディスペンスプロセスの監視と 制御に新たな付加価値を提供します。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：120ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：120ml/min ■精度(IPA)：5％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFM6000D-5slm』は、SFC6000マスフローコントローラーのバルブレス 姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供するガスフローセンサーです。 熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSensMEMS技術を採用する、 センシリオンはクラス最高レベルの性能と応答速度を備えたマスフロー コントローラーを提供。 これは、市場に流通する他のほとんどのデバイスとは異なり、ドリフトせず、 サービスの再調整も不要です。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：5slm ■フルスケール流量：5000sccm ■精度：0.2％FS or 2％SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air, N2, O2, N2O, Ar and CO2 flow ■流体コネクタポート：Push-in 6mm,downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SFC5400』は、様々なインターフェースと様々な流体接続ができる 多用途マスフローコントローラーです。 50sccm～200slmの最大流量を測定でき、センサー信号は、チップ上で校正、 温度補償されたデジタル信号に直接変換。 また、複数のガス校正データを1つのデバイスに保存でき、動作中の ガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックする こともできます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock, VCO, VCR, Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。